全压电驱动纳米级宏/微定位系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第9-10页 |
| ·宏微驱动平台技术研究现状 | 第10-15页 |
| ·宏驱动方式的研究现状 | 第10-12页 |
| ·微动机构的研究现状 | 第12-13页 |
| ·宏微驱动平台国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 全压电驱动宏/微定位平台的研制 | 第17-33页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·宏/微全压电驱动定位平台的总体设计 | 第17-19页 |
| ·宏动平台的设计 | 第19-21页 |
| ·宏动平台的总体设计 | 第19-20页 |
| ·压电马达的选型 | 第20-21页 |
| ·微动平台的设计和建模 | 第21-28页 |
| ·压电陶瓷致动器及其驱动器的选型 | 第22-23页 |
| ·双层弹性平行板柔性铰链机构的刚度模型 | 第23-25页 |
| ·微动系统的力学模型分析 | 第25-27页 |
| ·柔性铰链的设计 | 第27-28页 |
| ·位置传感器 | 第28-30页 |
| ·全压电驱动宏微定位平台实物 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 宏微驱动定位系统控制方法的研究 | 第33-50页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·宏微驱动定位平台控制系统 | 第33-34页 |
| ·宏动系统的控制 | 第34-38页 |
| ·宏动系统传递函数 | 第34-35页 |
| ·宏动平台死区的硬件补偿 | 第35-36页 |
| ·宏动机构的软件控制 | 第36-37页 |
| ·宏动机构控制系统的仿真 | 第37-38页 |
| ·微动系统的控制 | 第38-45页 |
| ·压电陶瓷的电学模型 | 第38-40页 |
| ·微动系统传递函数 | 第40-41页 |
| ·单神经元PID控制 | 第41-43页 |
| ·微动平台控制系统的仿真 | 第43-45页 |
| ·宏微驱动定位系统的宏微切换控制 | 第45-49页 |
| ·宏微驱动定位系统的控制 | 第46-47页 |
| ·宏/微驱动定位系统控制策略仿真 | 第47-49页 |
| ·宏微切换阈值分析 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 宏/微驱动定位平台的实验研究 | 第50-65页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验系统的设计 | 第50-53页 |
| ·实验系统组成 | 第50-52页 |
| ·控制软件介绍 | 第52-53页 |
| ·宏动系统的性能测试 | 第53-54页 |
| ·宏动系统重复定位精度的测试 | 第53-54页 |
| ·微动系统的性能测试 | 第54-58页 |
| ·微动系统的开环性能测试 | 第54-56页 |
| ·微动系统闭环PID控制 | 第56页 |
| ·微动系统单神经元自适应PID控制 | 第56-57页 |
| ·微动系统重复定位精度测试 | 第57-58页 |
| ·宏/微结合定位系统特性测试 | 第58-63页 |
| ·宏微结合动态特性测试 | 第58-60页 |
| ·宏/微定位平台分辨率的测试 | 第60页 |
| ·宏/微切换阈值与系统响应时间的关系测试 | 第60-61页 |
| ·宏/微定位平台重复定位精度测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
