| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·湿度传感器的发展概况 | 第8-10页 |
| ·毛发湿度传感器 | 第8页 |
| ·露点测试仪 | 第8-9页 |
| ·高分子材料湿度传感器 | 第9-10页 |
| ·金属氧化物陶瓷湿度传感器 | 第10页 |
| ·硅基微结构湿度传感器 | 第10-14页 |
| ·硅基电容式湿度传感器 | 第11-12页 |
| ·硅基电阻式湿度传感器 | 第12-13页 |
| ·硅基悬臂粱型湿度传感器 | 第13页 |
| ·利用半导体器件效应制作的传感器 | 第13-14页 |
| ·湿敏薄膜材料的应用状况 | 第14-15页 |
| ·薄膜制备方法简介 | 第15-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-18页 |
| 2 硅衬底上感湿电极的设计与制作 | 第18-25页 |
| ·电极的形状设计 | 第18-20页 |
| ·电极制作流程 | 第20-23页 |
| ·晶圆上电极的分割 | 第23-25页 |
| 3 湿敏薄膜的制备与表征 | 第25-45页 |
| ·溶胶-凝胶制膜法简介 | 第25页 |
| ·氧化锆薄膜制备 | 第25-30页 |
| ·原材料及仪器设备 | 第25-26页 |
| ·制备方法 | 第26-29页 |
| ·涂膜及热处理 | 第29-30页 |
| ·氧化锆薄膜表征 | 第30-36页 |
| ·热分析 | 第30-31页 |
| ·X射线衍射分析 | 第31-34页 |
| ·台阶仪测试 | 第34页 |
| ·原子力显微镜测试 | 第34-36页 |
| ·氧化钛过渡层薄膜制备 | 第36-38页 |
| ·原材料及仪器设备 | 第36页 |
| ·制备方法 | 第36-38页 |
| ·涂膜及热处理 | 第38页 |
| ·氧化钛薄膜表征 | 第38-41页 |
| ·热分析 | 第38-39页 |
| ·X射线衍射仪分析 | 第39-40页 |
| ·台阶仪测试 | 第40-41页 |
| ·氧化锆/氧化钛双层薄膜元件的制备 | 第41页 |
| ·氧化锆/氧化钛双层薄膜表征 | 第41-44页 |
| ·X射线光电子能谱分析的基本原理 | 第41-42页 |
| ·XPS分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 湿度敏元件性能测试 | 第45-54页 |
| ·测量系统 | 第45-47页 |
| ·元件的感湿灵敏度及湿度量程 | 第47-50页 |
| ·ZrO_2/TiO_2/Pt/SiO_2/Si元件湿敏特性测试 | 第47-49页 |
| ·TiO_2薄膜湿敏特性测试 | 第49-50页 |
| ·元件的湿滞特性 | 第50-51页 |
| ·元件的响应恢复时间 | 第51页 |
| ·元件的频率特性 | 第51-52页 |
| ·温度特性 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 湿敏元件感湿特性及机理分析 | 第54-61页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第54-56页 |
| ·湿敏元件阻抗特性曲线分析 | 第56-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |