LC谐振式耐高温加速度传感器的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·耐高温传感器国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·加速度传感器概述 | 第10-12页 |
| ·国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·论文主要研究内容及特色 | 第15-17页 |
| 2. LC 谐振式传感器的设计与工艺 | 第17-32页 |
| ·传感器整体设计思路 | 第17-19页 |
| ·电容式传感器工作原理及常见检测电路 | 第17-19页 |
| ·谐振式传感器系统框图 | 第19页 |
| ·LC 谐振式传感器芯片设计原理 | 第19-26页 |
| ·LC 谐振式传感器芯片材料的选择 | 第19-20页 |
| ·加速度信号传输的实现 | 第20-22页 |
| ·振动信号远距离传输的实现 | 第22-26页 |
| ·LC 谐振式传感器制作工艺 | 第26-31页 |
| ·电感线圈的工艺设计 | 第27-28页 |
| ·电容的工艺设计 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 传感器的耐高温封装技术 | 第32-47页 |
| ·热防护总体结构设计与分析 | 第32-36页 |
| ·外壳结构的设计 | 第33-35页 |
| ·隔热结构设计 | 第35-36页 |
| ·热防护关键技术分析 | 第36-41页 |
| ·结构对加速度测量的影响 | 第36-37页 |
| ·大温变对传感器的影响分析 | 第37-38页 |
| ·水冷结构设计 | 第38-41页 |
| ·结构的ANSYS 仿真分析 | 第41-45页 |
| ·结构的模态仿真 | 第41-44页 |
| ·结构热传导仿真 | 第44-45页 |
| ·结构的热辐射仿真 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 4 传感器电路系统设计 | 第47-56页 |
| ·信号的提取和放大 | 第48-50页 |
| ·调幅波的解调电路 | 第48-49页 |
| ·信号调理电路 | 第49-50页 |
| ·高温监测电路设计 | 第50-51页 |
| ·DSP 控制电路 | 第51-55页 |
| ·AD 转换电路 | 第51-53页 |
| ·鉴频模块 | 第53-54页 |
| ·频率-加速度转换模块 | 第54页 |
| ·扫频电路 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 实验验证及结论 | 第56-65页 |
| ·传感器工作原理研究 | 第56-60页 |
| ·传感器扫频试验 | 第56-59页 |
| ·线圈能量传输试验 | 第59-60页 |
| ·封装结构隔热效果分析试验 | 第60-63页 |
| ·总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
