基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概论 | 第9-24页 |
| ·表面微观三维形貌检测的意义 | 第9页 |
| ·表面微观形貌测量技术概述 | 第9-17页 |
| ·扫描白光干涉显微测量法 | 第17-18页 |
| ·表面微观形貌测量技术研究现状及发展趋势 | 第18-19页 |
| ·微定位工作台概述 | 第19-21页 |
| ·本文的主要研究工作与各章主要内容 | 第21-24页 |
| 2 仪器总体方案和设计 | 第24-30页 |
| ·仪器的整体结构及测量原理 | 第24-25页 |
| ·双光路显微干涉仪结构及特点 | 第25-26页 |
| ·6JA 显微干涉仪 | 第26-28页 |
| ·扫描定位工作台 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 扫描白光显微干涉理论 | 第30-43页 |
| ·双光束显微干涉理论 | 第30-31页 |
| ·显微物镜数值孔径对光强分布的影响 | 第31-33页 |
| ·光源带宽对光强分布的影响 | 第33-35页 |
| ·数值孔径和光源带宽的综合影响 | 第35-36页 |
| ·金属表面反射光相移的影响 | 第36-39页 |
| ·显微系统的横向分辨率 | 第39-40页 |
| ·横向分辨率对纵向高度测量的影响 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 白光干涉算法研究 | 第43-75页 |
| ·重心法 | 第45页 |
| ·移相算法 | 第45-46页 |
| ·包络曲线拟合法 | 第46-51页 |
| ·空间频域算法 | 第51-52页 |
| ·算法比较 | 第52-53页 |
| ·相移算法的再讨论 | 第53-58页 |
| ·等步长相移算法比较 | 第58-63页 |
| ·等步距扫描白光相移算法 | 第63-69页 |
| ·数值孔径对 Stoilov 白光相移算法的影响 | 第69页 |
| ·光源带宽对 Stoilov 白光相移算法的影响 | 第69-71页 |
| ·实际测试光源的选择 | 第71-73页 |
| ·Stoilov 白光相移算法的应用 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 垂直扫描白光干涉定位工作台的设计分析 | 第75-117页 |
| ·工作台总体结构 | 第75-76页 |
| ·柔性铰链机构的设计 | 第76-82页 |
| ·工作台精定位机构的设计及分析 | 第82-93页 |
| ·压电陶瓷微位移器 | 第93-98页 |
| ·工作台光栅计量系统 | 第98-110页 |
| ·工作台性能测试实验 | 第110-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 6 白光干涉形貌测量实验及结果分析 | 第117-124页 |
| ·仪器整体性能介绍 | 第117-119页 |
| ·系统主要技术指标 | 第119-120页 |
| ·标准样板实验 | 第120-122页 |
| ·误差分析 | 第122-123页 |
| ·本章总结 | 第123-124页 |
| 7 全文总结及展望 | 第124-126页 |
| ·全文总结 | 第124-125页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 附录1 攻读博士学位期间以第一作者发表的学术论文 | 第135-136页 |
| 附录2 网上检索EI 收录发表文章 | 第136-137页 |
| 附录3 国家发明专利受理通知书 | 第137页 |
