直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜及其微结构研究

提要	第1-6页
第一章 绪论	第6-17页
·引言	第6页
·金刚石的晶体结构	第6-7页
·金刚石的性质及应用	第7-11页
·人造金刚石的进展	第11-13页
·化学气相沉积金刚石膜发展的历史回顾	第13-14页
·气相合成金刚石膜的生长机理	第14-16页
·论文的选题及主要研究内容	第16-17页
第二章 金刚石膜的制备与表征	第17-31页
·制备金刚石膜方法简介	第17-19页
·直流热阴极 PCVD 方法的装置及基本工艺	第19-23页
·直流辉光放电等离子体的特性	第23-28页
·CVD 金刚石的表征	第28-30页
·本章小结	第30-31页
第三章 金刚石膜的微观结构研究	第31-42页
·金刚石膜的表面形貌	第31-36页
·金刚石膜截面特性及其微结构研究	第36-41页
·本章小结	第41-42页
第四章 金刚石膜的品质及性能研究	第42-61页
·金刚石膜拉曼光谱的研究	第42-46页
·金刚石膜的 X 射线衍射	第46-47页
·金刚石膜热导率研究	第47-54页
·金刚石膜耐磨性能的研究	第54-56页
·金刚石膜的微裂纹、暴裂与应力	第56-60页
·小结	第60-61页
第五章 全文总结	第61-63页
参考文献	第63-67页
致谢	第67-68页
摘要	第68-71页
ABSTRACT	第71-73页