| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·数字微镜装置应用于投影技术的优势 | 第8-10页 |
| ·当前国际国内相关技术的发展情况 | 第10-11页 |
| ·本文主要目的和主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 数字光处理与数字微镜的工作原理、结构 | 第13-21页 |
| ·数字光处理技术 | 第13-16页 |
| ·数字微镜技术及基本结构 | 第16-18页 |
| ·数字微镜的设计要求 | 第18-21页 |
| 第三章 数字微镜受静电力、粘附力时机电动力学模型及结构参数 | 第21-33页 |
| ·拉格朗日―麦克斯韦方程 | 第21-26页 |
| ·电路方程式 | 第21-23页 |
| ·有质动力 | 第23-24页 |
| ·拉格朗日-麦克斯韦方程 | 第24-26页 |
| ·建立数字微镜受静电力、粘附力时的机电动力学模型 | 第26-28页 |
| ·数字微镜机电动力学模型的建立 | 第26-28页 |
| ·数字微镜结构参数确定 | 第28-33页 |
| 第四章 静电转矩和粘附力矩分析 | 第33-51页 |
| ·静电转矩分析 | 第33-45页 |
| ·静电转矩分析 | 第33-40页 |
| ·控制电压序列 | 第40-41页 |
| ·微反射镜片不同运动状态说明 | 第41-43页 |
| ·微镜电位差及结构参数确定 | 第43页 |
| ·静电转矩的仿真 | 第43-45页 |
| ·微镜静电转矩仿真讨论 | 第45页 |
| ·粘附力矩分析 | 第45-51页 |
| ·粘附力物理模型 | 第46页 |
| ·微观连续介质理论 | 第46-47页 |
| ·接触力数学模型 | 第47-48页 |
| ·粘附力矩分析 | 第48-50页 |
| ·粘附力矩仿真讨论 | 第50-51页 |
| 第五章 数字微镜运动模拟及结果分析 | 第51-61页 |
| ·数字微镜参数确定 | 第51-54页 |
| ·系统转动惯量确定 | 第51-53页 |
| ·铰链扭转轴扭转刚度确定 | 第53页 |
| ·阻尼系数确定 | 第53-54页 |
| ·运动模拟及结果分析 | 第54-61页 |
| ·系统的角位移曲线和角速度曲线 | 第54-59页 |
| ·数字微镜运动状态的讨论 | 第59-61页 |
| 第六章 数字微镜抗冲击机电动力学模型及仿真分析 | 第61-73页 |
| ·冲击分析 | 第61-62页 |
| ·数字微镜抗冲击机电动力学模型 | 第62-64页 |
| ·运动模拟及结果分析 | 第64-67页 |
| ·阻尼分析 | 第67-73页 |
| 第七章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·主要工作与结论 | 第73页 |
| ·本文工作的主要创新点 | 第73-74页 |
| ·工作展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第81-83页 |
| 附录A：静电转矩的计算结果 | 第83-87页 |
| 附录B：静电转矩的计算结果 | 第87-89页 |