BST热释电薄膜漏电流特性及软击穿特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·BST 热释电薄膜的基本结构 | 第9-10页 |
| ·BST 薄膜的应用 | 第10页 |
| ·BST 薄膜中的漏电流机制研究 | 第10-13页 |
| ·BST 薄膜中的软击穿研究现状 | 第13-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 理论分析 | 第16-26页 |
| ·BST 薄膜的漏电流导电机制 | 第16-17页 |
| ·电极限制型电流机理 | 第17-18页 |
| ·体限制型导电机制 | 第18-21页 |
| ·介质薄膜的软击穿理论 | 第21-26页 |
| 第三章 实验方法 | 第26-30页 |
| ·BST 薄膜测试样品制备 | 第26-27页 |
| ·介电性能测试 | 第27页 |
| ·BST 薄膜漏电流测试 | 第27-30页 |
| 第四章 BST 薄膜漏电流机制研究 | 第30-38页 |
| ·漏电流测试技术研究 | 第30-36页 |
| ·BST 薄膜的漏电流机制 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第五章 BST 薄膜漏电流特性研究 | 第38-48页 |
| ·BST 薄膜样品制备工艺对漏电流特性的影响 | 第38-43页 |
| ·BST 薄膜瞬变漏电流特性 | 第43-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第六章 BST 薄膜的TDDB 特性研究 | 第48-57页 |
| ·TDDB 特性测试方法 | 第48页 |
| ·BST 薄膜TDDB 特性研究 | 第48-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第七章 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第63-64页 |
