| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·选题背景 | 第9-12页 |
| ·薄膜生长研究的发展与现状 | 第12-15页 |
| ·选题依据 | 第15-16页 |
| ·主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 薄膜生长与计算机仿真的基本原理 | 第17-25页 |
| ·薄膜生长理论 | 第17-22页 |
| ·蒙特卡罗方法 | 第22-25页 |
| ·蒙特卡罗方法概述 | 第22-23页 |
| ·蒙特卡罗方法的工作过程 | 第23-24页 |
| ·蒙特卡罗方法应用于薄膜生长 | 第24-25页 |
| 第三章 OLED 真空蒸镀系统中蒸发源结构设计与实验结果分析 | 第25-43页 |
| ·真空蒸镀原理 | 第25-27页 |
| ·OLED 点蒸发源系统模型的建立及实验结果分析 | 第27-37页 |
| ·点蒸发源膜厚分布的理论基础 | 第27-29页 |
| ·OLED 系统模型 | 第29-30页 |
| ·实验及测试手段 | 第30-32页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第32-37页 |
| ·OLED 线型蒸发源系统模型的建立 | 第37-42页 |
| ·线蒸发源膜厚分布的理论基础 | 第38-39页 |
| ·OLED 线蒸发源系统模拟 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 有机气相外延系统下薄膜生长过程的模拟 | 第43-53页 |
| ·有机气相外延的基本原理 | 第43-45页 |
| ·有机气相外延中薄膜扩散沉积的仿真过程 | 第45-46页 |
| ·有机气相外延中的图案化仿真 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53页 |
| ·展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第61-62页 |