| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·LIGA技术 | 第10-11页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第11页 |
| ·基于SU-8胶的UV-LIGA技术 | 第11-13页 |
| ·SU-8胶紫外光刻实验技术研究 | 第13-15页 |
| ·SU-8光刻胶紫外光刻的曝光模型和显影模型综述 | 第15-17页 |
| ·曝光模型综述 | 第15-17页 |
| ·显影模型综述 | 第17页 |
| ·本文主要的研究工作 | 第17-19页 |
| 2 SU-8胶光刻理论 | 第19-27页 |
| ·SU-8胶的光刻机理 | 第19-20页 |
| ·菲涅耳衍射理论 | 第20-24页 |
| ·光的衍射现象 | 第20页 |
| ·惠更斯-菲涅耳原理 | 第20-21页 |
| ·菲涅耳积分 | 第21-23页 |
| ·直边衍射 | 第23-24页 |
| ·溶胀理论 | 第24-26页 |
| ·溶胀的基础理论 | 第24-25页 |
| ·溶胀平衡 | 第25页 |
| ·溶胀速度理论 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 SU-8胶光刻工艺实验研究 | 第27-38页 |
| ·确定SU-8胶紫外光刻工艺方案 | 第27-28页 |
| ·SU-8胶紫外光刻的标准工艺流程 | 第28-29页 |
| ·清洗工艺部分 | 第28页 |
| ·光刻工艺部分 | 第28-29页 |
| ·SU-8胶紫外光刻标准工艺应用之一——微流控芯片热压模具的制作 | 第29-31页 |
| ·SU-8胶紫外光刻标准工艺应用之二——微注塑模具的制作 | 第31-33页 |
| ·制作模具所用的材料和掩模 | 第31页 |
| ·SU-8胶模具的紫外光刻工艺过程 | 第31-33页 |
| ·实验中的问题分析与讨论 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 SU-8胶紫外光刻模型 | 第38-51页 |
| ·紫外曝光模型 | 第38-40页 |
| ·尺寸公差模型 | 第40页 |
| ·MATLAB软件仿真 | 第40-45页 |
| ·MATLAB软件简介 | 第40-42页 |
| ·MATLAB仿真的方法和思路 | 第42-43页 |
| ·紫外曝光模型的图形用户界面的建立 | 第43-45页 |
| ·显影模型 | 第45-50页 |
| ·显影模型的建立 | 第45-46页 |
| ·求解溶胀曲线表达式 | 第46-50页 |
| ·实验数据小结 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 实验结果与仿真结果比较分析 | 第51-58页 |
| ·实验研究 | 第51-53页 |
| ·实验材料与设备 | 第51页 |
| ·实验步骤 | 第51-52页 |
| ·实验结果分析 | 第52-53页 |
| ·数值模拟结果分析 | 第53-57页 |
| ·实验结果与数值模拟结果比较分析 | 第57页 |
| ·数值模拟结果对工艺实验的指导作用 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第66页 |