双轴振动传感器的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·微电子机械系统 | 第10-14页 |
| ·微电子机械系统概述 | 第10-12页 |
| ·MEMS 器件 | 第12-13页 |
| ·MEMS 中用到的材料 | 第13-14页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第14-17页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第15-16页 |
| ·体微机械加工技术 | 第16-17页 |
| ·LIGA 技术 | 第17页 |
| ·微机械加速度计 | 第17-20页 |
| ·微机械加速度计原理概述 | 第17-19页 |
| ·压阻式微机械加速度计 | 第19页 |
| ·电容式微机械加速度计 | 第19-20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 振动传感器总体设计方案与工作原理 | 第21-28页 |
| ·振动传感器总体设计 | 第21-23页 |
| ·设计依据 | 第21页 |
| ·总体设计方案 | 第21-23页 |
| ·电容式传感器的工作原理 | 第23-27页 |
| ·变间隙型电容传感器的工作原理 | 第24-26页 |
| ·差动式变间隙型电容传感器工作原理 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 双轴振动传感器敏感元件与接口电路设计 | 第28-47页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件设计 | 第28-38页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的结构设计 | 第29-30页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的工作原理 | 第30-32页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的参数设计 | 第32-35页 |
| ·弹性梁选择与刚度计算 | 第32-33页 |
| ·器件的灵敏度计算 | 第33-34页 |
| ·敏感元件的分辨率 | 第34-35页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的有限元模拟 | 第35-38页 |
| ·模态分析 | 第35-37页 |
| ·梁结构参数对谐振频率的影响分析 | 第37-38页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的工艺设计 | 第38-41页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的制作流程 | 第39-40页 |
| ·硅电容式双轴加速度敏感元件的几项关键工艺 | 第40-41页 |
| ·硅-玻璃静电键合工艺 | 第40页 |
| ·Deep RIE 干法刻蚀工艺 | 第40-41页 |
| ·硅片的湿法减薄工艺 | 第41页 |
| ·敏感元件接口电路原理设计 | 第41-46页 |
| ·接口电路检测原理 | 第42-43页 |
| ·调制电路 | 第43-44页 |
| ·解调电路 | 第44-45页 |
| ·反馈电路 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 振动传感器信号处理电路和外壳设计 | 第47-55页 |
| ·信号放大电路 | 第47-49页 |
| ·稳压电源电路 | 第47-48页 |
| ·信号放大电路 | 第48-49页 |
| ·频率范围控制电路 | 第49-51页 |
| ·自激振荡电路 | 第49页 |
| ·低通滤波电路 | 第49-51页 |
| ·双轴振动传感器外壳设计 | 第51-53页 |
| ·隔热材料选择 | 第51页 |
| ·双轴振动传感器外壳结构设计 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 传感器测试标定技术与试验结果 | 第55-65页 |
| ·测试标定系统的组成 | 第55-56页 |
| ·校准系统工作原理 | 第56页 |
| ·传感器性能测试与分析 | 第56-64页 |
| ·传感器的静态特性测试 | 第56-60页 |
| ·灵敏度 | 第57-58页 |
| ·非线性误差 | 第58页 |
| ·零点漂移 | 第58-59页 |
| ·横向灵敏度比 | 第59-60页 |
| ·热零点漂移 | 第60页 |
| ·传感器的动态特性测试 | 第60-64页 |
| ·动态灵敏度测试 | 第60-63页 |
| ·环境试验 | 第63-64页 |
| ·测试结果分析 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·研究结论 | 第65-66页 |
| ·本论文工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 个人简介 | 第71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71页 |
