| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1 章 引言 | 第7-12页 |
| ·描述等离子体状态的重要物理量 | 第7-9页 |
| ·研究现状 | 第9页 |
| ·本论文的主要工作及其意义 | 第9-12页 |
| 第2 章 等离子体诊断 | 第12-24页 |
| ·利用氮的发射光谱测量电子温度 | 第12-13页 |
| ·Langmuir 探针的测量原理 | 第13-17页 |
| ·探针测量遇到的问题和解决的方法 | 第17-21页 |
| ·主要诊断设备 | 第21-24页 |
| 第3 章实验设备及进行的实验 | 第24-28页 |
| ·实验设备 | 第25-27页 |
| ·装置介绍 | 第25-26页 |
| ·MPS2000 的加热机制 | 第26-27页 |
| ·实验内容 | 第27-28页 |
| 第4 章 实验结果与讨论 | 第28-65页 |
| ·器壁尺寸对等离子体参数的影响 | 第28-30页 |
| ·器壁表面镀膜对等离子体参数的影响 | 第30-38页 |
| ·实验简介 | 第30-31页 |
| ·O_2/N_2清洗CH_4/N_2膜过程中的主要规律 | 第31-35页 |
| ·其他清洗方式与O_2/N_2清洗CH_4/N_2膜的比较 | 第35-37页 |
| ·沉积膜过程中的规律 | 第37-38页 |
| ·结论 | 第38页 |
| ·沉积膜实验中等离子体发射光强的周期性变化现象 | 第38-54页 |
| ·实验简介 | 第38-39页 |
| ·实验结果 | 第39-41页 |
| ·理论模型 | 第41-48页 |
| ·理论计算与实验的比较 | 第48-53页 |
| ·结论 | 第53-54页 |
| ·器壁反光对谱线之比计算电子温度的影响 | 第54-56页 |
| ·低气压下等离子体的喷射现象 | 第56-59页 |
| ·用探针对jet 测量的结果 | 第56-58页 |
| ·jet 对等离子体发射光谱的影响 | 第58-59页 |
| ·混入惰性气体对 EEPF 和电子温度的调节作用 | 第59-65页 |
| 第5 章 结论和展望 | 第65-68页 |
| ·结论 | 第65-67页 |
| ·对今后工作的展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
| 声 明 | 第69-70页 |
| 附录A 纯氮放电的等离子体发射光谱及氮的能级图 | 第70-72页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第72页 |