用Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·铁电薄膜材料的概述 | 第9-13页 |
| ·铁电薄膜材料的性质和应用 | 第9-13页 |
| ·铁电薄膜的发展与研究现状 | 第13-18页 |
| ·铁电薄膜的发展 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的研究现状 | 第14页 |
| ·铁电薄膜材料及其特性表征 | 第14-15页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第15-18页 |
| ·本课题的选材及研究目的、内容 | 第18-20页 |
| ·课题选材及研究目的 | 第18-19页 |
| ·本课题的内容 | 第19-20页 |
| 第二章 实验材料和实验方法 | 第20-29页 |
| ·试验设备及材料 | 第20页 |
| ·试验设备 | 第20页 |
| ·试验材料 | 第20页 |
| ·制备原理 | 第20页 |
| ·工艺流程 | 第20-22页 |
| ·制备稳定的PZT前驱体溶液 | 第22页 |
| ·Sol—Gel法的工艺参数对溶胶稳定的影响 | 第22-27页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第27-29页 |
| 第三章 实验结果 | 第29-33页 |
| ·PZT前驱体溶液的制备方法实验结果 | 第29页 |
| ·溶剂的选取 | 第29页 |
| ·影响溶液成胶的因素的实验结果 | 第29-30页 |
| ·其它影响因素的实验结果 | 第30页 |
| ·PT薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·PZT薄膜的制备 | 第31-32页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第32-33页 |
| 第四章 影响PZT前驱体溶液稳定的因素 | 第33-40页 |
| ·制备PZT薄膜的先驱体溶液 | 第33-34页 |
| ·影响PZT前驱体溶液稳定的因素 | 第34-37页 |
| ·其它添加剂的影响 | 第37-40页 |
| 第五章 PZT/PT薄膜的形成与相结构分析 | 第40-48页 |
| ·热分解和热处理工艺的影响 | 第40-42页 |
| ·薄膜的XRD图分析 | 第42-45页 |
| ·升温速率与降温速率对薄膜结晶的影响 | 第45页 |
| ·薄膜的成分分析 | 第45-48页 |
| 第六 章PZT薄膜的扫描电镜形貌分析 | 第48-53页 |
| ·前驱体溶液的制备工艺的影响 | 第48-49页 |
| ·pH值和DCCA对PZT薄膜的微观形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·形成薄膜裂纹的因素分析 | 第50-53页 |
| 第七章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
