Sol-gel法掺杂导电ZnO薄膜及其低温氮气热处理
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-27页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·太阳能电池 | 第9-15页 |
| ·硅太阳能电池 | 第9-10页 |
| ·多元化合物薄膜太阳能电池 | 第10-11页 |
| ·聚合物多层修饰电极型太阳能电池 | 第11-12页 |
| ·纳米晶太阳能电池 | 第12-14页 |
| ·全球太阳能电池产业现状 | 第14页 |
| ·我国太阳能电池产业现状 | 第14页 |
| ·太阳能电池及太阳能发电前景简析 | 第14-15页 |
| ·透明导电氧化物的分类及应用 | 第15-16页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的特性、制备及应用 | 第16-23页 |
| ·ZnO 的特性 | 第16-17页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的制备 | 第17-23页 |
| ·掺杂氧化锌薄膜性质及应用 | 第23-25页 |
| ·AZO 薄膜性质 | 第23-24页 |
| ·掺Li 的ZnO 薄膜性质 | 第24页 |
| ·掺杂ZnO 薄膜应用 | 第24-25页 |
| ·研究课题的提出 | 第25-27页 |
| 第二章 实验与研究方法 | 第27-35页 |
| ·实验所用原料与设备 | 第27-28页 |
| ·实验原料 | 第27页 |
| ·实验所用设备 | 第27-28页 |
| ·方案设计与实验过程 | 第28-31页 |
| ·基质溶胶制膜过程的化学反应 | 第28-29页 |
| ·掺杂溶胶的配制 | 第29页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第29页 |
| ·提拉镀膜、干燥和热处理 | 第29-31页 |
| ·薄膜结构和性能的检测 | 第31-35页 |
| ·XRD 分析 | 第31-32页 |
| ·SEM 分析 | 第32页 |
| ·XPS 分析 | 第32页 |
| ·薄膜电阻率测量 | 第32-33页 |
| ·UV-VIS测量 | 第33-35页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第35-62页 |
| ·ZnO 透明导电膜的电性能 | 第35-39页 |
| ·ZnO 半导体薄膜的导电机理 | 第35-37页 |
| ·AZO 透明薄膜导电机理 | 第37-38页 |
| ·ZnO 薄膜的p 型掺杂 | 第38-39页 |
| ·掺杂ZnO 薄膜的电学性能分析 | 第39-44页 |
| ·不同掺杂物、掺杂量对薄膜电学性能的影响 | 第39-40页 |
| ·热处理温度对薄膜电学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·涂膜层数对薄膜电学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·不同气氛的影响 | 第42-43页 |
| ·AZO 薄膜在N_2 气氛下稳定性 | 第43-44页 |
| ·ZnO 薄膜工艺对光学性能的影响 | 第44-49页 |
| ·ZnO 薄膜的光学性质 | 第44-46页 |
| ·不同热处理对AZO 薄膜光学性能的影响 | 第46页 |
| ·拉膜次数对薄膜光学性能的影响 | 第46-47页 |
| ·不同掺杂物对薄膜光学性能的影响 | 第47-49页 |
| ·薄膜的XPS 分析 | 第49-51页 |
| ·薄膜的XRD 分析 | 第51-57页 |
| ·掺杂Al 离子的ZnO 薄膜 | 第51-53页 |
| ·未处理的AZO 薄膜 | 第53-54页 |
| ·掺杂Li 的ZnO 薄膜 | 第54-56页 |
| ·不同掺杂物间的比较 | 第56-57页 |
| ·薄膜的SEM 形貌 | 第57-62页 |
| ·掺杂Al 离子的ZnO 薄膜 | 第57-58页 |
| ·掺杂Li 离子的ZnO 薄膜 | 第58-60页 |
| ·不同气氛下热处理薄膜 | 第60页 |
| ·不同拉膜次数的薄膜 | 第60-62页 |
| 第四章 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
