SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-19页 |
| ·本文的研究内容 | 第19-20页 |
| 2 微力传感器的原理与设计 | 第20-26页 |
| ·微力传感器的原理 | 第20-22页 |
| ·微力传感器的组成材料 | 第20页 |
| ·微力传感器的原理 | 第20-22页 |
| ·微力传感器的尺寸设计 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 SU-8胶微力传感器的制作工艺研究 | 第26-39页 |
| ·微力传感器剥离工艺研究 | 第26-31页 |
| ·剥离工艺流程研究 | 第26-29页 |
| ·剥离工艺结果分析 | 第29-31页 |
| ·微力传感器湿法腐蚀工艺研究 | 第31-38页 |
| ·湿法腐蚀工艺流程研究 | 第31-33页 |
| ·湿法腐蚀工艺结果分析 | 第33-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 微力传感器外围电路设计与制作 | 第39-49页 |
| ·电桥电路设计与制作 | 第39-40页 |
| ·三级放大滤波电路设计与制作 | 第40-45页 |
| ·一级放大电路 | 第40-42页 |
| ·二级放大电路 | 第42-44页 |
| ·三级放大电路 | 第44-45页 |
| ·电源电路设计与制作 | 第45-48页 |
| ·电压转换芯片LM7812、LM7912 | 第45-46页 |
| ·电源电路设计与制作 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 微力传感器的标定及微夹钳夹持力的测量 | 第49-63页 |
| ·微力传感器标定装置 | 第49-52页 |
| ·微力传感器的接口装置设计 | 第49-51页 |
| ·微力传感器标定装置 | 第51-52页 |
| ·微力传感器标定实验 | 第52-58页 |
| ·微力传感器偏转灵敏度测量 | 第52-55页 |
| ·微力传感器力灵敏度标定 | 第55-58页 |
| ·微夹钳夹持力的测量 | 第58-62页 |
| ·微夹钳夹持力测量装置 | 第58-60页 |
| ·微夹钳夹持力的测量 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录A 掩膜版CAD图 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
