基底温度等因素对薄膜生长影响的Monte Carlo模拟研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章 绪论	第10-17页
·引言	第10页
·薄膜生长计算机模拟方法	第10-11页
·计算机模拟薄膜生长的发展和现状	第11-15页
·基底温度对薄膜生长影响的模拟	第12页
·粒子能量对薄膜生长影响的模拟	第12-13页
·粒子入射率对薄膜生长的影响模拟	第13-14页
·粒子行走步数对薄膜生长影响的模拟	第14-15页
·课题研究的目的和意义	第15页
·论文的主要研究内容	第15-17页
第2章 薄膜生长的物理模型	第17-34页
·引言	第17页
·亚单层膜的生长过程	第17-26页
·凝结过程	第19-22页
·成核的毛细作用	第22-25页
·临界岛尺寸和岛的尺寸分布	第25-26页
·多层膜的生长	第26-33页
·薄膜三维生长的模式	第27-30页
·薄膜的层间扩散	第30-31页
·薄膜三维生长向二维生长的转变	第31-33页
·本章小结	第33-34页
第3章 薄膜生长的模拟条件、方法和过程	第34-50页
·引言	第34页
·分子动力学的方法	第34-37页
·第一性原理分子动力学方法	第37-40页
·蒙特卡洛方法	第40-49页
·本章小结	第49-50页
第4章 薄膜生长的模拟	第50-59页
·引言	第50-51页
·不同粒子行走步数下薄膜生长的模拟	第51-52页
·不同基底温度下薄膜生长的模拟	第52-54页
·不同粒子能量下薄膜生长的模拟	第54-56页
·不同粒子入射率下薄膜生长的模拟	第56-57页
·本章小结	第57-59页
结论	第59-61页
参考文献	第61-66页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果	第66-67页
致谢	第67-68页
作者简介	第68页