| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·微位移传感器 | 第11-13页 |
| ·电容式微位移传感器的研究现状 | 第13-14页 |
| ·电容式传感器的研究现状 | 第13页 |
| ·平面电容式微位移传感器的研究现状 | 第13-14页 |
| ·电容式传感器的检测电路的研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题的提出以及主要工作 | 第15-17页 |
| 第2章 石英晶体电容传感器的工作原理 | 第17-26页 |
| ·石英晶体谐振器 | 第17-21页 |
| ·理论基础 | 第17-18页 |
| ·石英晶体的结构与振动模式 | 第18-19页 |
| ·石英晶体的材料常数矩阵 | 第19-20页 |
| ·石英晶体谐振器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·电容敏感元件 | 第21-25页 |
| ·电容及电容传感器的分类 | 第21-22页 |
| ·平面电容 | 第22-24页 |
| ·叉指电极式电容 | 第24-25页 |
| ·石英晶体电容传感器的工作原理 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 石英晶体谐振器的有限元分析 | 第26-35页 |
| ·有限元分析法构建石英晶体谐振器 | 第26-29页 |
| ·有限元法 | 第26-27页 |
| ·构建石英晶体谐振器模型的步骤 | 第27-29页 |
| ·仿真结果分析 | 第29-34页 |
| ·石英晶体谐振器的谐振响应 | 第29-30页 |
| ·电极厚度对石英晶体谐振器的频率响应的分析 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 石英晶体电容传感器的等效电路 | 第35-43页 |
| ·石英晶体谐振器的等效电路与谐振频率 | 第35-38页 |
| ·石英晶体谐振器的等效电路 | 第35页 |
| ·石英晶体谐振器的谐振频率 | 第35-38页 |
| ·石英晶体谐振器的谐振频率的比较 | 第38页 |
| ·石英晶体电容传感器的等效电路与谐振频率 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 石英晶体电容传感器测量微位移实验 | 第43-53页 |
| ·石英晶体电容传感器的实验装置 | 第43-45页 |
| ·石英晶体电容传感器测微位移的实验结果 | 第45-52页 |
| ·石英晶体电容传感器测微位移的频率响应 | 第45-49页 |
| ·石英晶体电容传感器与石英晶体谐振器频率响应的比较 | 第49-50页 |
| ·不同基频石英晶体电容传感器谐振响应的比较 | 第50页 |
| ·采用不同材料的被测物时石英晶体电容传感器谐振响应的比较 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59页 |