| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·光开关的概念 | 第10页 |
| ·光开关的分类 | 第10-14页 |
| ·光控光开关 | 第10-11页 |
| ·电控光开关 | 第11-14页 |
| ·光开关的应用 | 第14-15页 |
| ·极化聚合物电光材料的分类和研究进展 | 第15-18页 |
| ·电光材料的发展 | 第15页 |
| ·聚合物电光材料的分类及研究进展 | 第15-18页 |
| ·极化聚合物电光开关研究进展 | 第18-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第2章 极化聚合物电光开关原理 | 第21-28页 |
| ·电光效应原理 | 第21-24页 |
| ·脊型波导原理 | 第24-25页 |
| ·M-Z 干涉仪型电光开关原理 | 第25-26页 |
| ·聚合物的极化 | 第26-28页 |
| 第3章 ICP 刻蚀制备工艺优化 | 第28-40页 |
| ·概述 | 第28-30页 |
| ·ICP 刻蚀简介 | 第28-29页 |
| ·实验材料及工艺流程 | 第29-30页 |
| ·ICP 刻蚀参数的优化 | 第30-39页 |
| ·天线射频功率的优化 | 第30-33页 |
| ·偏置射频功率的优化 | 第33-35页 |
| ·刻蚀腔室压强的优化 | 第35-36页 |
| ·氧气流量的优化 | 第36-38页 |
| ·刻蚀时间的优化 | 第38-39页 |
| ·总结 | 第39-40页 |
| 第4章 极化聚合物电光材料稳定性分析 | 第40-51页 |
| ·不同包层对 DR1/SU-8 的影响 | 第40-42页 |
| ·DR1/SU-8 的制备 | 第40-41页 |
| ·不同包层对 DR1/SU-8 的影响 | 第41-42页 |
| ·不同极化方式对薄膜形态的影响 | 第42-46页 |
| ·序参数及其随时间的弛豫 | 第46-51页 |
| 第5章 极化聚合物电光开关的制备 | 第51-62页 |
| ·基于 PDMS 的倒脊形波导电光开关的设计与制备 | 第51-57页 |
| ·材料的选取及波导的设计 | 第51-53页 |
| ·基于 PDMS 包层的器件制备 | 第53-55页 |
| ·器件的测试 | 第55-57页 |
| ·基于 KH560 有机/无机杂化材料的电光开关制备 | 第57-62页 |
| ·基于 KH560 的有机/无机杂化非线性材料的制备及表征 | 第57-59页 |
| ·器件的制备及测试 | 第59-62页 |
| 第6章 结论与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及取得的科研成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
