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40Cr表面多弧离子镀TiAlN/TiN复合膜层的工艺及性能研究

摘要第1-3页
ABSTRACT第3-11页
第1章 绪论第11-25页
   ·课题背景第11页
   ·齿轮的主要失效形式及常用的强化方法第11-16页
     ·齿轮的主要失效形式第12-15页
     ·常用的齿轮强化方法第15-16页
   ·多弧离子镀技术发展与现状第16-22页
     ·离子镀技术第16-17页
     ·多弧离子镀技术原理第17-19页
     ·多弧离子镀的特点第19页
     ·多弧离子镀的主要工艺参数第19-20页
     ·多弧离子镀技术在工业生产中的应用第20-21页
     ·多弧离子镀技术存在的不足及未来的发展第21-22页
   ·TiAlN 涂层材料的应用及发展第22-24页
     ·国内外TiAlN 涂层材料的应用第23页
     ·TiAlN 涂层的发展趋势第23-24页
   ·本课题研究的意义及内容第24-25页
     ·课题的研究意义第24页
     ·本课题的研究内容第24-25页
第2章 试验材料及方法第25-34页
   ·试验材料第25页
     ·基体材料第25页
     ·膜层材料第25页
   ·试样尺寸及形状第25-26页
   ·试验设备第26-27页
   ·膜层的制备第27-29页
     ·试样的预处理第27-28页
     ·抽真空、预热第28页
     ·Ar~+清洗第28页
     ·钛靶轰击第28页
     ·镀膜第28-29页
   ·工艺参数的确定第29页
   ·性能检测及方法第29-34页
     ·表面形貌观测第29-30页
     ·显微硬度测试第30-31页
     ·薄膜结构测试及成分分析第31页
     ·摩擦磨损试验第31-33页
     ·薄膜抗氧化测试第33-34页
第3章 TiAlN/TiN 复合涂层的组织结构及成分分析第34-44页
   ·膜层的表面形貌分析第34-36页
     ·膜层的表面颜色对比第34页
     ·N_2 分压对膜层表面形貌的影响第34-35页
     ·基体负偏压对膜层表面形貌的影响第35页
     ·铝靶电流对膜层表面形貌的影响第35-36页
   ·工艺参数对膜层厚度的影响第36-43页
     ·N_2 分压对膜层厚度的影响第36-39页
     ·基体负偏压对膜层厚度的影响第39-41页
     ·电流对膜层厚度的影响第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第4章 复合膜层的力学性能及抗氧化性能研究第44-51页
   ·力学性能研究第44-46页
     ·基体负偏压对膜层的显微硬度的影响第44页
     ·N_2 分压对膜层的显微硬度的影响第44-45页
     ·靶材电流对膜层表面显微硬度的影响第45-46页
   ·工艺参数和膜层沉积率的关系第46-47页
   ·复合薄膜的抗氧化性能研究第47-49页
   ·本章小结第49-51页
第5章 TiAlN/TiN 复合膜层的摩擦磨损性能研究第51-61页
   ·摩擦特性分析第51-53页
   ·磨痕形貌分析第53-57页
     ·TiAlN/TiN 膜层与40Cr 基体磨痕形貌对比第53-54页
     ·不同载荷下TiAlN/TiN 膜层磨痕形貌对比第54-57页
   ·磨痕深度分析第57-59页
   ·磨损量分析第59页
   ·本章小结第59-61页
结论第61-62页
参考文献第62-65页
攻读硕士期间发表的论文第65-66页
致谢第66-68页
详细摘要第68-72页

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