| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器的概述 | 第10-11页 |
| 1.3 有机半导体材料 | 第11-13页 |
| 1.3.1 并五苯有机半导体材料 | 第11-12页 |
| 1.3.2 酞菁类有机半导体材料 | 第12-13页 |
| 1.4 有机薄膜晶体管的研究进展 | 第13-15页 |
| 1.5 有机薄膜气敏传感器研究进展 | 第15-16页 |
| 1.6 论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 有机气敏晶体管基本理论 | 第18-26页 |
| 2.1 金属与半导体接触理论 | 第18-22页 |
| 2.1.1 金属和半导体功函数 | 第18页 |
| 2.1.2 肖特基接触 | 第18-20页 |
| 2.1.3 欧姆接触 | 第20-22页 |
| 2.1.4 中性接触 | 第22页 |
| 2.2 酞菁配合物的气敏机理及影响因素 | 第22-25页 |
| 2.2.1 酞菁的气敏性与气敏性机理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 影响金属酞菁配合物气敏特性的因素 | 第23-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 PbPc有机薄膜晶体管的制备 | 第26-35页 |
| 3.1 器件制备工艺 | 第26-29页 |
| 3.1.1 真空蒸发镀膜法 | 第26-27页 |
| 3.1.2 磁控溅射镀膜法 | 第27-29页 |
| 3.2 PbPc有机薄膜晶体管制备流程 | 第29-34页 |
| 3.2.1 器件的结构 | 第30-31页 |
| 3.2.2 基片的处理 | 第31-32页 |
| 3.2.3 金属电极的制备 | 第32-33页 |
| 3.2.4 有机层的制备 | 第33-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 PbPc有机薄膜晶体管的气敏特性测试与结构分析 | 第35-46页 |
| 4.1 敏感特性测试 | 第35-36页 |
| 4.1.1 气敏测试系统 | 第35页 |
| 4.1.2 实验方法 | 第35-36页 |
| 4.2 实验测试结果 | 第36-39页 |
| 4.2.1 器件在空气中的测试结果 | 第36-37页 |
| 4.2.2 器件在NO_2气体中的测试结果 | 第37-38页 |
| 4.2.3 器件的恢复 | 第38-39页 |
| 4.3 PbPc有机薄膜二极管的气敏特性分析 | 第39-43页 |
| 4.3.1 器件正向I-V特性分析 | 第39-42页 |
| 4.3.2 器件反向I-V特性分析 | 第42-43页 |
| 4.4 PbPc有机薄膜三极管的I-V特性测试分析 | 第43-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |