电沉积法制备氧化锌（ZnO）薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第9-11页 |
| 第二章 文献综述 | 第11-21页 |
| 2.1 铜铟镓硒太阳能电池简介 | 第11-13页 |
| 2.1.1 铜铟镓硒太阳电池的研究进展 | 第11页 |
| 2.1.2 铜铟镓硒太阳电池的结构 | 第11-12页 |
| 2.1.3 铜铟镓硒太阳电池的工作原理 | 第12页 |
| 2.1.4 铜铟镓硒太阳电池的评定参数 | 第12-13页 |
| 2.2 ZnO结构及性质 | 第13-15页 |
| 2.2.1 氧化锌的结构 | 第13-15页 |
| 2.2.2 氧化锌的基本性质 | 第15页 |
| 2.3 氧化锌薄膜在CIGS太阳电池中的应用 | 第15页 |
| 2.3.1 氧化锌薄膜的窗口层作用 | 第15页 |
| 2.3.2 氧化锌薄膜的生长 | 第15页 |
| 2.4 ZnO薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| 2.4.1 喷雾热分解法 | 第16页 |
| 2.4.2 分子束的外延法(MBE) | 第16页 |
| 2.4.3 电磁喷射法 | 第16-17页 |
| 2.4.4 溶胶凝胶法(Sol-gel) | 第17页 |
| 2.4.5 化学气相沉积 | 第17-18页 |
| 2.4.6 电沉积法 | 第18页 |
| 2.5 ZnO薄膜的研究进展及应用 | 第18-20页 |
| 2.5.1 太阳能电极 | 第18-19页 |
| 2.5.2 紫外光探测器 | 第19页 |
| 2.5.3 压电传感器 | 第19页 |
| 2.5.4 表面声波器件 | 第19页 |
| 2.5.5 ZnO发光管和激光器 | 第19-20页 |
| 2.6 课题的研究意义和创新之处 | 第20-21页 |
| 第三章 实验部分 | 第21-25页 |
| 3.1 实验药品 | 第21页 |
| 3.2 实验仪器 | 第21-22页 |
| 3.3 实验方案 | 第22-23页 |
| 3.3.1 电沉积法制备ZnO薄膜的实验原理 | 第22页 |
| 3.3.2 电沉积法制备ZnO薄膜的工艺流程 | 第22页 |
| 3.3.3 电沉积法制备ZnO薄膜的实验方案 | 第22-23页 |
| 3.4 实验步骤 | 第23-24页 |
| 3.4.1 导电基底准备 | 第23页 |
| 3.4.2 电沉积制备ZnO薄膜的实验步骤 | 第23-24页 |
| 3.5 分析方法测试 | 第24-25页 |
| 3.5.1 物相结构分析 | 第24页 |
| 3.5.2 微观形貌分析 | 第24页 |
| 3.5.3 电阻测试 | 第24页 |
| 3.5.4 紫外可见光透过(UV-VIS)测试 | 第24-25页 |
| 第四章 结果与讨论 | 第25-46页 |
| 4.1 基本参数确定 | 第25-28页 |
| 4.1.1 水浴温度的确定 | 第25-27页 |
| 4.1.2 沉积速率的确定 | 第27-28页 |
| 4.2 不同基底上制备ZnO薄膜(时间影响) | 第28-41页 |
| 4.2.1 低阻ZAO基底上制备ZnO薄膜 | 第28-33页 |
| 4.2.2 高阻ZAO基底上制备ZnO薄膜 | 第33-38页 |
| 4.2.3 ITO导电基底上制备ZnO薄膜 | 第38-41页 |
| 4.3 不同基底上制备ZnO薄膜(基底影响) | 第41-46页 |
| 4.3.1 ZnO薄膜的物相分析 | 第41-42页 |
| 4.3.2 ZnO薄膜的晶格常数分析 | 第42页 |
| 4.3.3 ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第42-44页 |
| 4.3.4 ZnO薄膜的电学性能分析 | 第44页 |
| 4.3.5 ZnO薄膜的光学性能分析 | 第44-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表论文及成果 | 第52页 |
