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电沉积法制备氧化锌(ZnO)薄膜及其性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 引言第9-11页
第二章 文献综述第11-21页
    2.1 铜铟镓硒太阳能电池简介第11-13页
        2.1.1 铜铟镓硒太阳电池的研究进展第11页
        2.1.2 铜铟镓硒太阳电池的结构第11-12页
        2.1.3 铜铟镓硒太阳电池的工作原理第12页
        2.1.4 铜铟镓硒太阳电池的评定参数第12-13页
    2.2 ZnO结构及性质第13-15页
        2.2.1 氧化锌的结构第13-15页
        2.2.2 氧化锌的基本性质第15页
    2.3 氧化锌薄膜在CIGS太阳电池中的应用第15页
        2.3.1 氧化锌薄膜的窗口层作用第15页
        2.3.2 氧化锌薄膜的生长第15页
    2.4 ZnO薄膜的制备方法第15-18页
        2.4.1 喷雾热分解法第16页
        2.4.2 分子束的外延法(MBE)第16页
        2.4.3 电磁喷射法第16-17页
        2.4.4 溶胶凝胶法(Sol-gel)第17页
        2.4.5 化学气相沉积第17-18页
        2.4.6 电沉积法第18页
    2.5 ZnO薄膜的研究进展及应用第18-20页
        2.5.1 太阳能电极第18-19页
        2.5.2 紫外光探测器第19页
        2.5.3 压电传感器第19页
        2.5.4 表面声波器件第19页
        2.5.5 ZnO发光管和激光器第19-20页
    2.6 课题的研究意义和创新之处第20-21页
第三章 实验部分第21-25页
    3.1 实验药品第21页
    3.2 实验仪器第21-22页
    3.3 实验方案第22-23页
        3.3.1 电沉积法制备ZnO薄膜的实验原理第22页
        3.3.2 电沉积法制备ZnO薄膜的工艺流程第22页
        3.3.3 电沉积法制备ZnO薄膜的实验方案第22-23页
    3.4 实验步骤第23-24页
        3.4.1 导电基底准备第23页
        3.4.2 电沉积制备ZnO薄膜的实验步骤第23-24页
    3.5 分析方法测试第24-25页
        3.5.1 物相结构分析第24页
        3.5.2 微观形貌分析第24页
        3.5.3 电阻测试第24页
        3.5.4 紫外可见光透过(UV-VIS)测试第24-25页
第四章 结果与讨论第25-46页
    4.1 基本参数确定第25-28页
        4.1.1 水浴温度的确定第25-27页
        4.1.2 沉积速率的确定第27-28页
    4.2 不同基底上制备ZnO薄膜(时间影响)第28-41页
        4.2.1 低阻ZAO基底上制备ZnO薄膜第28-33页
        4.2.2 高阻ZAO基底上制备ZnO薄膜第33-38页
        4.2.3 ITO导电基底上制备ZnO薄膜第38-41页
    4.3 不同基底上制备ZnO薄膜(基底影响)第41-46页
        4.3.1 ZnO薄膜的物相分析第41-42页
        4.3.2 ZnO薄膜的晶格常数分析第42页
        4.3.3 ZnO薄膜的表面形貌分析第42-44页
        4.3.4 ZnO薄膜的电学性能分析第44页
        4.3.5 ZnO薄膜的光学性能分析第44-46页
第五章 结论第46-48页
参考文献第48-51页
致谢第51-52页
附录A 攻读硕士期间发表论文及成果第52页

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