基于微纳米尺度的样品扫描成像系统设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 字母注释表 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-20页 |
| 1.2.1 硬件结构研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 控制方法研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 纳米操作研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 论文的主要研究内容和结构 | 第20-22页 |
| 第二章 样品扫描成像系统的设计 | 第22-27页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 样品扫描成像系统的原理设计 | 第22-26页 |
| 2.2.1 原子力显微镜的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 样品扫描成像系统的设计 | 第23-25页 |
| 2.2.3 样品扫描成像系统的光路分析 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 样品扫描成像系统的搭建 | 第27-44页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 样品扫描成像系统的零部件设计与选型 | 第27-34页 |
| 3.2.1 位置检测机构 | 第27-31页 |
| 3.2.2 平台托架 | 第31-32页 |
| 3.2.3 基座及隔振平台 | 第32-33页 |
| 3.2.4 快速定位系统 | 第33-34页 |
| 3.3 三轴纳米位移台的机械设计和仿真分析 | 第34-37页 |
| 3.3.1 三轴纳米位移台的机械设计 | 第34-36页 |
| 3.3.2 三轴纳米位移台的仿真分析 | 第36-37页 |
| 3.4 三轴纳米位移台的性能测试 | 第37-41页 |
| 3.4.1 实验设备配置 | 第37-39页 |
| 3.4.2 行程及耦合误差 | 第39-40页 |
| 3.4.3 阶跃响应及分辨率 | 第40-41页 |
| 3.5 样品扫描成像系统的总装结构 | 第41-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 样品扫描成像系统的标定与程序设计 | 第44-57页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 样品扫描成像系统的标定 | 第44-51页 |
| 4.2.1 样品扫描成像系统的实验设备配置 | 第44-45页 |
| 4.2.2 应变仪信号标定 | 第45-47页 |
| 4.2.3 PSD信号标定 | 第47-48页 |
| 4.2.4 闭环控制 | 第48-50页 |
| 4.2.5 耦合误差补偿 | 第50-51页 |
| 4.3 样品扫描的成像系统的程序设计 | 第51-56页 |
| 4.3.1 快速定位系统程序 | 第51-52页 |
| 4.3.2 模拟采集程序 | 第52-53页 |
| 4.3.3 进退针程序 | 第53-54页 |
| 4.3.4 扫描成像程序 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 样品扫描成像系统的实验研究 | 第57-66页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 样品表面成像研究 | 第57-60页 |
| 5.2.1 实验步骤 | 第57-58页 |
| 5.2.2 多种样品扫描测试 | 第58-59页 |
| 5.2.3 多种频率扫描测试 | 第59页 |
| 5.2.4 横向力与探针起伏成像 | 第59-60页 |
| 5.3 迟滞前馈补偿 | 第60-64页 |
| 5.3.1 前馈模型建立 | 第61-63页 |
| 5.3.2 验证实验 | 第63-64页 |
| 5.4 力谱测量模式 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 结论与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66-67页 |
| 6.2 工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
