| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 目录 | 第12-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-36页 |
| ·研究背景 | 第17页 |
| ·硬质膜概述 | 第17-20页 |
| ·氮化物硬质膜的研究进展 | 第20-25页 |
| ·单一金属氮化物膜 | 第21页 |
| ·氮化物膜的多元化发展 | 第21-25页 |
| ·多元氮化物膜的多层和梯度化设计 | 第25页 |
| ·氮化物膜刀具的应用现状 | 第25-29页 |
| ·单一金属氮化物膜刀具 | 第25-26页 |
| ·多元氮化物膜刀具 | 第26-28页 |
| ·多元多层氮化物膜刀具 | 第28-29页 |
| ·真空镀膜技术概述 | 第29-34页 |
| ·真空镀膜技术分类 | 第29-30页 |
| ·离子镀技术发展 | 第30页 |
| ·多弧离子镀技术概述 | 第30-34页 |
| ·研究目的和内容 | 第34-36页 |
| 第2章 实验材料与研究方法 | 第36-46页 |
| ·多弧离子镀设备简介 | 第36-37页 |
| ·实验材料 | 第37-39页 |
| ·靶材的选择与制备 | 第37-38页 |
| ·基材的选择与预处理 | 第38-39页 |
| ·镀膜工艺参数的选择 | 第39-42页 |
| ·基体负偏压 | 第39-40页 |
| ·气体分压 | 第40页 |
| ·弧电流强度 | 第40-41页 |
| ·本底真空度 | 第41页 |
| ·试样温度 | 第41页 |
| ·试样转动速率 | 第41-42页 |
| ·沉积时间 | 第42页 |
| ·磁场 | 第42页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第42-46页 |
| ·薄膜表面和断口形貌观察 | 第42-43页 |
| ·薄膜成分分析 | 第43页 |
| ·薄膜相结构分析 | 第43页 |
| ·薄膜硬度测试 | 第43页 |
| ·膜/基结合力测试 | 第43-44页 |
| ·薄膜耐磨性能研究 | 第44-45页 |
| ·薄膜抗高温氧化性能研究 | 第45-46页 |
| 第3章 (Ti，Al，Zr，Cr) N多元单层膜的微结构与性能 | 第46-74页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜制备 | 第46页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜组织形貌 | 第46-51页 |
| ·薄膜实物照片 | 第46-47页 |
| ·薄膜表面形貌 | 第47-49页 |
| ·薄膜表面粗糙度 | 第49页 |
| ·薄膜断口形貌 | 第49-51页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜成分 | 第51-53页 |
| ·薄膜表面成分 | 第51-52页 |
| ·薄膜成分离析 | 第52-53页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜相结构 | 第53-55页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜硬度和膜/基结合力 | 第55-58页 |
| ·薄膜硬度 | 第55-57页 |
| ·膜/基结合力 | 第57-58页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜耐磨性 | 第58-64页 |
| ·薄膜摩擦系数曲线 | 第58-61页 |
| ·薄膜磨损表面形貌 | 第61-64页 |
| ·(Ti，Al，Zr，Cr) N膜的高温氧化行为 | 第64-73页 |
| ·薄膜短时高温氧化 | 第64-70页 |
| ·薄膜长时高温循环氧化 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第4章 (Ti，Al，Zr)N/( Ti，Al，Zr，Cr) N多元双层膜的微结构与性能 | 第74-97页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜制备 | 第74-75页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜断口形貌 | 第75页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜成分 | 第75-78页 |
| ·薄膜断面成分 | 第75页 |
| ·薄膜表面成分 | 第75-78页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜相结构 | 第78-80页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜硬度和膜/基结合力 | 第80-82页 |
| ·薄膜硬度 | 第80-81页 |
| ·膜/基结合力 | 第81-82页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜耐磨性 | 第82-85页 |
| ·薄膜摩擦系数曲线 | 第82-85页 |
| ·薄膜磨损表面形貌 | 第85页 |
| ·(Ti，Al，Zr)N/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜的高温氧化行为 | 第85-95页 |
| ·薄膜短时高温氧化 | 第85-92页 |
| ·薄膜长时高温循环氧化 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 第5章 CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N多元双层膜的微结构与性能 | 第97-119页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜制备 | 第97-98页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜断口形貌 | 第98页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜成分 | 第98-101页 |
| ·薄膜断面成分 | 第98页 |
| ·薄膜表面成分 | 第98-101页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜相结构 | 第101-102页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜硬度和膜/基结合力 | 第102-105页 |
| ·薄膜硬度 | 第102-103页 |
| ·膜/基结合力 | 第103-105页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜耐磨性 | 第105-110页 |
| ·薄膜摩擦系数曲线 | 第105页 |
| ·薄膜磨损表面形貌 | 第105-110页 |
| ·CrN/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜的高温氧化行为 | 第110-118页 |
| ·薄膜短时高温氧化 | 第110-114页 |
| ·薄膜长时高温循环氧化 | 第114-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第6章 TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N多元梯度膜的微结构与性能 | 第119-142页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜制备 | 第119-120页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜断口形貌 | 第120页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜成分 | 第120-123页 |
| ·薄膜断面成分 | 第120页 |
| ·薄膜表面成分 | 第120-123页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜相结构 | 第123-125页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜硬度和膜/基结合力 | 第125-127页 |
| ·薄膜硬度 | 第125-126页 |
| ·膜/基结合力 | 第126-127页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜耐磨性 | 第127-130页 |
| ·薄膜摩擦系数曲线 | 第127-130页 |
| ·薄膜磨损表面形貌 | 第130页 |
| ·TiAlZrCr/(Ti，Al，Zr，Cr)N膜的高温氧化行为 | 第130-140页 |
| ·薄膜短时高温氧化 | 第130-137页 |
| ·薄膜长时高温循环氧化 | 第137-140页 |
| ·本章小结 | 第140-142页 |
| 第7章 结论 | 第142-144页 |
| 参考文献 | 第144-157页 |
| 创新点 | 第157-158页 |
| 工作展望 | 第158-159页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第159-160页 |
| 致谢 | 第160-161页 |
| 作者简介 | 第161-162页 |
