双频容性耦合等离子体的光谱诊断研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
引言	第11-12页
1 绪论	第12-41页
·等离子体简介	第12-14页
·等离子体的分类	第12-13页
·等离子体的应用	第13-14页
·等离子体的产生	第14-22页
·介质阻挡放电	第14-16页
·微波和射频放电	第16-22页
·等离子体诊断方法	第22-30页
·静电探针法	第23-24页
·质谱法	第24-25页
·光谱法	第25-30页
·双频容性耦合等离子体研究进展	第30-39页
·双频源耦合问题	第31-33页
·双频容性耦合等离子体均匀性	第33-35页
·双频容性耦合等离子体电子加热机制	第35-36页
·离子轰击基片的能量和角度分布	第36-37页
·双频容性耦合等离子体气体温度	第37-38页
·双频容性耦合碳氟等离子体的特性	第38-39页
·双频容性耦合等离子体研究中存在的问题	第39页
·本论文的选题和研究思路	第39-41页
2 实验装置和实验方法	第41-50页
·双频等离子体发射光谱诊断装置	第41-45页
·射频电源	第42页
·反应器和电极结构	第42-43页
·配气和真空系统	第43-44页
·光谱测试系统	第44页
·光探针-径向空间分辨诊断装置	第44-45页
·其他测试系统	第45页
·吸收光谱实验装置	第45-50页
·氙灯	第45-47页
·滤光片	第47-48页
·光束准直系统	第48-49页
·探测器	第49-50页
3 发射光谱法测定等离子体温度和氟原子数密度	第50-72页
·氩等离子体电子温度的测量	第50-60页
·计算方法	第50-54页
·放电气压的影响	第54-56页
·低频功率的影响	第56-57页
·高频功率的影响	第57-58页
·气体流率的影响	第58-59页
·放电平衡时间的影响	第59-60页
·CF_4等离子体气体温度的测定	第60-64页
·气体温度拟合方法	第62-63页
·气体温度拟合结果	第63-64页
·内标法测定氟原子密度	第64-70页
·内标法测定氟原子密度方法	第65-68页
·放电气压的影响	第68-69页
·低频功率的影响	第69页
·高频功率的影响	第69-70页
·本章小结	第70-72页
4 空间均匀性发射光谱诊断研究	第72-85页
·径向空间分辨研究	第72-79页
·径向空间分辨测定方法	第72-73页
·放电气压对径向空间分辨的影响	第73-76页
·低频功率对径向空间分辨的影响	第76-77页
·低频频率对径向空间分辨的影响	第77-78页
·高频功率对径向空间分辨的影响	第78-79页
·电极间距对径向空间分辨的影响	第79页
·轴向空间分辨研究	第79-83页
·轴向空间分辨测定装置	第80页
·放电气压对轴向空间分辨的影响	第80-82页
·低频功率对轴向空间分辨的影响	第82-83页
·高频功率对轴向空间分辨的影响	第83页
·本章小结	第83-85页
5 吸收光谱法测定CF_2数密度	第85-96页
·测定CF_2数密度实验方法	第85-90页
·吸收光谱选用谱带	第85-87页
·CF_2自由基发射光谱	第87-88页
·CF_2自由基数密度计算方法	第88-90页
·测定CF_2数密度实验结果	第90-94页
·放电气压对CF_2数密度的影响	第90-92页
·低频功率对CF_2数密度的影响	第92-93页
·高频功率对CF_2数密度的影响	第93-94页
·本章小结	第94-96页
6 结论	第96-98页
·本研究工作所取得的主要成果	第96-97页
·展望	第97-98页
参考文献	第98-107页
攻读博士学位期间发表学术论文情况	第107-109页
致谢	第109-110页
作者简介	第110-112页