| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS器件的空间应用 | 第10-14页 |
| 1.2.1 MEMS传感器 | 第10-12页 |
| 1.2.2 MEMS执行器 | 第12-13页 |
| 1.2.3 MEMS光学器件 | 第13-14页 |
| 1.2.4 生物MEMS | 第14页 |
| 1.3 MEMS空间辐射效应 | 第14-17页 |
| 1.3.1 空间辐射环境 | 第14-15页 |
| 1.3.2 空间辐射基本损伤机理 | 第15-17页 |
| 1.4 MEMS中电介质的空间可靠性研究现状 | 第17-23页 |
| 1.4.1 MEMS加速度计 | 第18-19页 |
| 1.4.2 MEMS梳齿驱动器 | 第19-20页 |
| 1.4.3 RFMEMS开关 | 第20-23页 |
| 1.5 论文组织结构 | 第23-25页 |
| 第二章 电容式RFMEMS开关及电介质注电效应 | 第25-31页 |
| 2.1 RFMEMS开关工作原理 | 第25-27页 |
| 2.1.1 电容式RFMEMS开关 | 第25-26页 |
| 2.1.2 接触式RFMEMS开关 | 第26-27页 |
| 2.2 电容式RFMEMS开关失效机理 | 第27-28页 |
| 2.2.1 开关加工材料的机械特性失效 | 第27页 |
| 2.2.2 封装效应 | 第27页 |
| 2.2.3 介质层电荷注入效应 | 第27-28页 |
| 2.2.4 功率处理能力 | 第28页 |
| 2.3 电容式RFMEMS开关电介质电荷注入效应 | 第28-30页 |
| 2.3.1 电介质电导率 | 第28页 |
| 2.3.2 电介质中的空间电荷 | 第28-29页 |
| 2.3.3 电极注入 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小节 | 第30-31页 |
| 第三章 MEMS中电介质空间可靠性研究样品制备与实验方案 | 第31-39页 |
| 3.1 实验方案 | 第31页 |
| 3.2 实验准备 | 第31-36页 |
| 3.2.1 测试样品设计 | 第31-32页 |
| 3.2.2 测试样品加工 | 第32-36页 |
| 3.3 γ辐照实验 | 第36-37页 |
| 3.4 MIM结构参数测量 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小节 | 第38-39页 |
| 第四章 MEMS中电介质的空间辐照效应 | 第39-51页 |
| 4.1 MIM电容电介质导电机制 | 第39-42页 |
| 4.1.1 MIM电容电介质薄膜的载流子输运 | 第39页 |
| 4.1.2 外加电场下的典型I-V特性曲线 | 第39-42页 |
| 4.2 ~(60)Coγ辐照实验结果 | 第42-45页 |
| 4.2.1 0V至5V电压范围内~(60)Coγ辐照实验结果 | 第42-43页 |
| 4.2.2 5V至10V电压范围内~(60)Coγ辐照实验结果 | 第43-44页 |
| 4.2.3 10V至15V电压范围内~(60)Coγ辐照实验结果 | 第44-45页 |
| 4.3 ~(60)Coγ辐照实验结果讨论 | 第45-50页 |
| 4.3.1 电介质薄膜缺陷模型 | 第45-46页 |
| 4.3.2 γ辐照效应 | 第46-50页 |
| 4.4 本章小节 | 第50-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第51页 |
| 5.2 论文工作展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 作者简介 | 第59页 |
