氮化硅基纳米梁腔及其应用研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 集成光子学与可见光集成光子器件 | 第11-19页 |
| 1.1.1 集成光子学 | 第11-14页 |
| 1.1.2 氮化硅光子器件 | 第14-19页 |
| 1.2 氮化硅基纳米梁腔 | 第19-25页 |
| 1.2.1 硅基纳米梁腔概述 | 第20-23页 |
| 1.2.2 氮化硅基纳米梁腔的应用 | 第23-25页 |
| 1.3 本文的工作内容及创新 | 第25-27页 |
| 1.3.1 本文的章节安排 | 第25-26页 |
| 1.3.2 文章的创新点 | 第26-27页 |
| 2 氮化硅基纳米梁腔的理论分析及工艺制备 | 第27-43页 |
| 2.1 氮化硅基纳米梁腔的理论和设计 | 第27-43页 |
| 2.1.1 氮化硅基纳米梁腔理论 | 第27-29页 |
| 2.1.2 氮化硅基纳米梁腔设计 | 第29-32页 |
| 2.1.3 氮化硅基纳米梁腔仿真方法 | 第32-36页 |
| 2.1.4 氮化硅基纳米梁腔工艺制备 | 第36-43页 |
| 3 基于氮化硅纳米梁腔和胶态量子点的可见光发光 | 第43-54页 |
| 3.1 自发辐射增强的概念 | 第43-45页 |
| 3.2 硅基纳米梁腔的设计与制备 | 第45-49页 |
| 3.3 测试系统与测试 | 第49-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 高灵敏度氮化硅纳米梁腔可见光传感器 | 第54-64页 |
| 4.1 折射率传感的介绍 | 第54-55页 |
| 4.2 可见光传感器的设计与制备 | 第55-60页 |
| 4.2.1 可见光折射率传感器的设计分析 | 第55-60页 |
| 4.3 可见光传感器的制备与测试 | 第60-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 研究总结 | 第64页 |
| 5.2 研究展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第71页 |
