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4H-SiC PiN二极管中子探测器的研究

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-10页
符号对照表第15-16页
缩略语对照表第16-19页
第一章 绪论第19-29页
    1.1 中子探测器的研究背景及意义第19-24页
        1.1.1 SiC材料的耐辐照优势及发展现状第20-22页
        1.1.2 SiC基二极管的发展现状第22-24页
    1.2 SiC基中子探测器的国内外研究现状第24-28页
        1.2.1 国外研究现状第24-25页
        1.2.2 国内研究现状第25-28页
    1.3 主要研究内容第28-29页
第二章 中子探测器的探测原理研究第29-35页
    2.1 中子的基本特征第29页
    2.2 半导体中子探测器的特点第29-31页
    2.3 中子探测原理第31-34页
        2.3.1 基本探测原理第31-33页
        2.3.2 本文中子探测器的原理第33-34页
    2.4 本章小结第34-35页
第三章 4H-SiCPiN基中子探测器的设计第35-51页
    3.1 4H-SiC基PiN器件基本参数设定第35-37页
    3.2 4H-SiC基PiN器件漏电机制第37-38页
    3.3 低漏电4H-SiC基PiN器件的终端结构设计第38-50页
        3.3.1 JTE终端长度的仿真第39-40页
        3.3.2 JTE终端掺杂浓度的优化第40-46页
        3.3.3 Single-JTE和Double-JTE终端的对比第46-50页
    3.4 本章小结第50-51页
第四章 快中子探测器电荷收集效率的仿真分析第51-71页
    4.1 理想情况下的电荷收集效率研究第52-66页
        4.1.1 工作电压对电荷收集效率的影响第52-55页
        4.1.2 主结厚度和JTE厚度对电荷收集效率的影响第55-56页
        4.1.3 入射位置对电荷收集效率的影响第56-66页
    4.2 陷阱对电荷收集特性的影响研究第66-70页
        4.2.1 不同类型陷阱对电荷收集特性的影响第66-69页
        4.2.2 工作电压对电荷收集性能的影响第69-70页
    4.3 本章小结第70-71页
第五章 快中子探测器的制备及探测第71-79页
    5.1 PiN器件的制备及电学性能测试第71-75页
    5.2 中子辐照及结果分析第75-78页
        5.2.1 中子探测外围电路系统第75-76页
        5.2.2 实验测试及结果分析第76-78页
    5.3 本章小结第78-79页
第六章 总结与展望第79-81页
    6.1 论文工作总结第79-80页
    6.2 论文工作展望第80-81页
参考文献第81-85页
致谢第85-87页
作者简介第87-88页

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