| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 太阳能电池简介 | 第10-15页 |
| 1.1.1 太阳能电池发展历史 | 第10-12页 |
| 1.1.2 太阳能电池基本原理 | 第12页 |
| 1.1.3 太阳能电池的电学性能参数 | 第12-14页 |
| 1.1.4 提高太阳能电池效率的方法 | 第14-15页 |
| 1.2 HIT电池 | 第15-17页 |
| 1.2.1 HIT太阳电池的结构 | 第15页 |
| 1.2.2 HIT太阳电池的特点 | 第15-16页 |
| 1.2.3 HIT太阳电池的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 掺铝氧化锌透明导电薄膜材料 | 第17-23页 |
| 1.3.1 掺铝氧化锌薄膜制备方法 | 第18-21页 |
| 1.3.2 绒面掺铝氧化锌薄膜 | 第21-23页 |
| 1.4 本论文研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 实验及测试分析 | 第26-38页 |
| 2.1 氢化非晶硅(a-Si：H)薄膜的制备 | 第26-28页 |
| 2.1.1 等离子体增强化学气相沉积基本过程 | 第26-27页 |
| 2.1.2 等离子增强化学气相沉积系统 | 第27-28页 |
| 2.1.3 实验过程 | 第28页 |
| 2.2 Al背场 | 第28-30页 |
| 2.2.1 热蒸发镀膜的基本原理 | 第28-29页 |
| 2.2.2 实验过程 | 第29-30页 |
| 2.3 AZO薄膜的制备及制绒 | 第30页 |
| 2.4 表征方法及检测仪器 | 第30-36页 |
| 2.4.1 X射线衍射 | 第30-31页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜 | 第31-32页 |
| 2.4.3 台阶仪 | 第32-33页 |
| 2.4.4 分光光度计 | 第33页 |
| 2.4.5 霍尔效应测试仪 | 第33-34页 |
| 2.4.6 太阳能模拟器 | 第34-35页 |
| 2.4.7 拉曼光谱 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 P型非晶硅薄膜的制备及特性研究 | 第38-46页 |
| 3.1 硼掺杂浓度对氢化非晶硅薄膜生长速率及结构的影响 | 第38-40页 |
| 3.2 硼掺杂浓度对氢化非晶硅薄膜光电特性的影响 | 第40-43页 |
| 3.3 HIT电池的性能 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 铝背场的制备研究 | 第46-54页 |
| 4.1 铝背场的形成机制 | 第46-48页 |
| 4.2 硅铝接触伏安特性的测试 | 第48-51页 |
| 4.3 带有Al场的HIT太阳电池 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 掺铝氧化锌薄膜表面制绒研究 | 第54-68页 |
| 5.1 在电流作用下,腐蚀溶液对AZO薄膜绒面结构的影响 | 第55-57页 |
| 5.2 在电流作用下,腐蚀时间对AZO薄膜绒面结构的影响 | 第57-61页 |
| 5.2.1 腐蚀时间对薄膜微观结构的影响 | 第57-59页 |
| 5.2.2 腐蚀时间对薄膜光学性能的影响 | 第59-60页 |
| 5.2.3 腐蚀时间对薄膜电学性能的影响 | 第60-61页 |
| 5.3 辅助电流对AZO薄膜绒面性能的影响 | 第61-65页 |
| 5.3.1 辅助电流对薄膜结构的影响 | 第61-64页 |
| 5.3.2 辅助电流对薄膜光散射性能的影响 | 第64-65页 |
| 5.3.3 辅助电流对薄膜电学性能的影响 | 第65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-68页 |
| 第6章 总结与展望 | 第68-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第78页 |
