小型辉光放电系统工作参数优化及装置改进
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 辉光光谱分析研究现状和发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.3 课题研究内容和论文结构 | 第13-14页 |
| 1.4 本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 小型辉光放电系统的样品装载装置设计 | 第15-24页 |
| 2.1 小型辉光放电系统及其工作原理 | 第15-16页 |
| 2.2 样品装载装置的设计 | 第16-21页 |
| 2.2.1 手动样品装载装置存在的问题 | 第17页 |
| 2.2.2 气动样品装载装置的设计 | 第17-18页 |
| 2.2.3 气动样品装载气缸与控制电磁阀 | 第18-19页 |
| 2.2.4 减压阀和样品装载系统平台 | 第19-21页 |
| 2.3 样品装载装置的改进效果 | 第21-23页 |
| 2.3.1 改进前后样品溅射坑型及光谱亮度比对 | 第21-22页 |
| 2.3.2 改进前后实验光谱图对比 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 溅射金属样品的最优工作参数 | 第24-53页 |
| 3.1 实验设计方案及步骤 | 第24-26页 |
| 3.1.1 正交实验原理及设计 | 第24-25页 |
| 3.1.2 实验步骤和数据处理 | 第25-26页 |
| 3.2 系统检测铜基样品的最优工作参数 | 第26-40页 |
| 3.2.1 Cu元素光谱强度随氩气压强的变化规律 | 第26-32页 |
| 3.2.2 Cu元素光谱强度随射频功率的变化规律 | 第32-38页 |
| 3.2.3 溅射铜基样品的最优工作参数 | 第38-40页 |
| 3.3 系统检测铁基样品的最优工作参数 | 第40-51页 |
| 3.3.1 Fe元素光谱强度随氩气压强的变化规律 | 第40-45页 |
| 3.3.2 Fe元素光谱强度随射频功率的变化规律 | 第45-50页 |
| 3.3.3 溅射铁基样品的最优工作参数 | 第50-51页 |
| 3.4 小型辉光放电系统实验条件的有效范围 | 第51-52页 |
| 3.4.1 氩气压强的有效范围 | 第51页 |
| 3.4.2 射频功率的有效范围 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 最优工作参数下的系统精密度实验 | 第53-58页 |
| 4.1 系统分析元素图谱 | 第53-54页 |
| 4.2 小型射频辉光放电光谱分析系统精密度实验 | 第54-57页 |
| 4.2.1 RSD实验原理和方法 | 第54-55页 |
| 4.2.2 系统RSD实验结果 | 第55-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 展望与总结 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
