| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 微小孔EDM加工的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3.1 微小孔EDM加工的国外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3.2 微小孔EDM加工的国内研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 ECMP加工的国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.4.1 ECMP加工的国外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4.2 ECMP加工的国内研究现状 | 第16-18页 |
| 1.5 国内外研究现状简析 | 第18页 |
| 1.6 课题主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 ECMP加工系统的实现与基础实验研究 | 第20-38页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 ECMP加工理论基础研究 | 第20-25页 |
| 2.2.1 ECMP加工微小孔的机理研究 | 第20-23页 |
| 2.2.2 ECMP加工对表面质量的影响分析 | 第23-25页 |
| 2.3 组合加工平台的搭建 | 第25-27页 |
| 2.4 复合电解液的选取与制备 | 第27-29页 |
| 2.4.1 电解液基体的选择与依据 | 第27页 |
| 2.4.2 抛光微粉颗粒的选择与依据 | 第27-28页 |
| 2.4.3 添加剂的选择及复合悬浮电解液的制备 | 第28-29页 |
| 2.5 组合加工基础实验研究 | 第29-37页 |
| 2.5.1 实验方案与组合加工工艺 | 第29-30页 |
| 2.5.2 实验用微细电极的制备 | 第30-32页 |
| 2.5.3 EDM加工参数的选择实验 | 第32-33页 |
| 2.5.4 EDM与组合加工的对比实验 | 第33-35页 |
| 2.5.5 ECMP加工时间的选择实验 | 第35-37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 ECMP加工微小孔间隙流场的仿真与实验研究 | 第38-59页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 ECMP加工微小孔间隙流场的仿真 | 第38-48页 |
| 3.2.1 ECMP加工间隙流场理论模型的选择及几何模型的建立 | 第39-41页 |
| 3.2.2 边界条件与仿真参数的设定 | 第41-42页 |
| 3.2.3 ECMP加工间隙流场仿真结果分析说明 | 第42-48页 |
| 3.3 ECMP主要工艺要素对加工结果影响的实验研究与仿真验证 | 第48-57页 |
| 3.3.1 实验方案与检测方法 | 第48页 |
| 3.3.2 加工电压对加工结果的影响分析 | 第48-52页 |
| 3.3.3 脉宽对加工结果的影响分析 | 第52-53页 |
| 3.3.4 电极进给速度对加工结果的影响分析与仿真验证 | 第53-55页 |
| 3.3.5 抛光微粉颗粒浓度对加工结果的影响分析与仿真验证 | 第55-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第4章 微小孔表面粗糙度数学模型的建立与参数优化 | 第59-72页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 ECMP加工微小孔内表面粗糙度数学模型的建立 | 第59-65页 |
| 4.2.1 中心组合实验 | 第59-61页 |
| 4.2.2 数学模型的建立与分析 | 第61-64页 |
| 4.2.3 响应曲面的分析与讨论 | 第64-65页 |
| 4.3 ECMP加工微小孔工艺参数的优化 | 第65-71页 |
| 4.3.1 参数优化目标函数的建立 | 第65-66页 |
| 4.3.2 粒子群优化算法求解目标函数 | 第66-69页 |
| 4.3.3 验证试验 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
