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化学溶液法制备非晶Y2O3薄膜的研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-25页
    1.1 超导的发展历史第10-11页
    1.2 超导材料的背景与意义第11-13页
    1.3 钇系高温超导带材第13-14页
    1.4 IBAD-MgO路线的高温超导带材结构第14-19页
        1.4.1 高温超导层第15-16页
        1.4.2 缓冲层第16页
        1.4.3 IBAD织构层和同质外延层第16-17页
        1.4.4 非晶阻挡层和非晶成核层第17-18页
        1.4.5 金属基带第18-19页
    1.5 金属基带平整化的方法第19-22页
        1.5.1 化学机械抛光第19-20页
        1.5.2 电抛光第20-21页
        1.5.3 溶液沉积平整化方法第21-22页
        1.5.4 三种方法和织构的关系第22页
    1.6 YBCO高温超导带材国内外研究现状第22-24页
    1.7 本论文的结构安排第24-25页
第二章 溶液沉积平坦化方法和薄膜表征方法第25-38页
    2.1 SDP法的原理第25-27页
    2.2 实验试剂与实验仪器第27-29页
        2.2.1 实验试剂第27页
        2.2.2 实验器材第27-28页
        2.2.3 实验设备第28-29页
    2.3 SDP法制备非晶薄膜的工艺流程第29-30页
    2.4 薄膜表征方法第30-38页
        2.4.1 原子力显微镜第30-34页
        2.4.2 X射线衍射仪第34-36页
        2.4.3 扫描电子显微镜射仪第36-37页
        2.4.4 测试分析仪器第37-38页
第三章 溶液沉积平整化法制备非晶薄膜的工艺研究第38-62页
    3.1 溶剂溶质添加剂的选择第39-41页
    3.2 金属基带的选择第41-45页
    3.3 非晶Y_2O_3薄膜的沉积工艺研究第45-54页
        3.3.1 温度对于非晶Y_2O_3层的影响第45-47页
        3.3.2 浓度对于非晶Y_2O_3层的影响第47-50页
        3.3.3 层数对于非晶Y_2O_3层的影响第50-52页
        3.3.4 浸渍提拉速度对于非晶Y_2O_3层的影响第52-53页
        3.3.5 机械装置对于非晶Y_2O_3层的影响第53-54页
    3.4 非晶Y-Al-O薄膜和非晶SiO_2薄膜的研究第54-58页
        3.4.1 非晶Y-Al-O薄膜的研究第55-57页
        3.4.2 非晶SiO_2薄膜的研究第57-58页
    3.5 非晶Y_2O_3长带材的研究第58-61页
    3.6 小结第61-62页
第四章 非晶Y_2O_3薄膜对于织构层的影响及其它应用第62-68页
    4.1 非晶Y_2O_3的微观裂纹对织构层的影响第62-63页
    4.2 非晶Y_2O_3对于IBAD-MgO织构层的影响第63-67页
    4.3 非晶Y_2O_3薄膜的其它应用第67页
    4.4 小结第67-68页
第五章 结论与展望第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-75页
攻硕期间取得的研究成果第75-76页

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