| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 剪切干涉法检测技术的分类 | 第10-12页 |
| 1.2.2 剪切干涉法国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 横向剪切干涉图像处理及仿真 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 横向剪切干涉原理与干涉图生成仿真 | 第17-20页 |
| 2.2.1 横向剪切干涉的基本原理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 横向剪切干涉图模拟仿真 | 第19-20页 |
| 2.3 横向剪切干涉图相位提取 | 第20-27页 |
| 2.3.1 横向剪切干涉图相位提取理论 | 第20-23页 |
| 2.3.2 四步相移法相位提取仿真及分析 | 第23-27页 |
| 2.4 横向剪切干涉图相位解包裹 | 第27-32页 |
| 2.4.1 横向剪切干涉图相位解包裹理论 | 第27-30页 |
| 2.4.2 横向剪切干涉图相位解包裹仿真与分析 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 横向剪切干涉测量波前重建研究及检测仿真 | 第34-56页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 差分波前重建理论与仿真 | 第34-40页 |
| 3.2.1 Zernike 多项式差分波前拟合算法 | 第34-37页 |
| 3.2.2 Zernike 多项式差分波前拟合数值模拟 | 第37-40页 |
| 3.3 横向剪切干涉被测波前重建理论与仿真 | 第40-49页 |
| 3.3.1 基于系数转换法的波前重建算法 | 第40-43页 |
| 3.3.2 系数转换法波前重建数值模拟 | 第43-46页 |
| 3.3.3 基于最小二乘法的波前重建算法 | 第46-47页 |
| 3.3.4 最小二乘法波前重建仿真 | 第47-49页 |
| 3.4 横向剪切干涉检测过程仿真 | 第49-55页 |
| 3.4.1 横向剪切干涉检测数值仿真程序界面设计 | 第49-50页 |
| 3.4.2 横向剪切干涉检测数值模拟研究 | 第50-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 横向剪切干涉法检测非球面反射镜实验研究 | 第56-73页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 抛物面非球面镜检测方式选择 | 第56-57页 |
| 4.3 非球面反射镜面形评价参数 | 第57-58页 |
| 4.4 被测抛物面反射镜的工艺参数 | 第58-59页 |
| 4.5 非球面横向剪切干涉实验装置及原理 | 第59-60页 |
| 4.6 非球面横向剪切干涉实验数据处理 | 第60-70页 |
| 4.6.1 横向剪切干涉图预处理 | 第61-63页 |
| 4.6.2 横向剪切干涉图相位提取 | 第63-64页 |
| 4.6.3 横向剪切干涉图相位解包裹 | 第64-67页 |
| 4.6.4 横向剪切干涉检测差分波前拟合 | 第67-68页 |
| 4.6.5 非球面反射镜横向剪切干涉检测波前重建 | 第68-70页 |
| 4.7 其他方法检测抛物面型非球面反射镜 | 第70-71页 |
| 4.8 横向剪切干涉法检测非球面误差分析 | 第71-72页 |
| 4.9 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80页 |