| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 太阳能电池发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 太阳能电池发展 | 第10-12页 |
| 1.2.2 Si 基太阳电池的陷光结构 | 第12-13页 |
| 1.3 ZnO 材料研究现状 | 第13-20页 |
| 1.3.1 ZnO 的性质 | 第13-14页 |
| 1.3.2 ZnO 的应用 | 第14-16页 |
| 1.3.3 ZnO 纳米结构的制备 | 第16-20页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第20-23页 |
| 第二章 实验设备和表征方法 | 第23-29页 |
| 2.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第23页 |
| 2.1.2 多功能沉积系统 | 第23-24页 |
| 2.1.3 真空蒸发 | 第24页 |
| 2.2 测试手段 | 第24-29页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜 | 第24-25页 |
| 2.2.2 原子力显微镜 | 第25页 |
| 2.2.3 紫外-可见-近红外分光光度计 | 第25页 |
| 2.2.4 X 射线衍射 | 第25-26页 |
| 2.2.5 光致发光(PL)谱 | 第26页 |
| 2.2.6 量子效率测试 | 第26-29页 |
| 第三章 水热法制备 ZnO 纳米阵列的研究 | 第29-51页 |
| 3.1 玻璃衬底上 ZnO 纳米柱阵列的制备 | 第29-34页 |
| 3.1.1 温度对 ZnO 纳米柱阵列的影响 | 第29-30页 |
| 3.1.2 醋酸腐蚀种子层对 ZnO 纳米柱阵列的影响 | 第30-34页 |
| 3.2 Si 衬底上 ZnO 纳米阵列的制备 | 第34-48页 |
| 3.2.1 种子液浓度对 ZnO 的形貌及光学性能的影响 | 第34-37页 |
| 3.2.2 种子层退火温度对 ZnO 形貌及光学性能的影响 | 第37-40页 |
| 3.2.3 生长液浓度对 ZnO 形貌及光学性能的影响 | 第40-42页 |
| 3.2.4 生长时间对 ZnO 形貌及光学性能的影响 | 第42-45页 |
| 3.2.5 1-3 丙二胺（DAP）浓度对 ZnO 形貌及光学性能的影响 | 第45-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-51页 |
| 第四章 ZnO 纳米阵列在太阳电池中的应用 | 第51-59页 |
| 4.1 ZnO 纳米阵列在硅基薄膜电池中的应用 | 第51-55页 |
| 4.2 ZnO 纳米阵列在 HIT 电池中的应用 | 第55-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
