| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-21页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 本文主要内容和创新点 | 第21-22页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第22-23页 |
| 第二章 微波谐振器和微波等离子体基本理论 | 第23-34页 |
| 2.1 微波谐振器理论 | 第23-25页 |
| 2.1.1 微波谐振器的工作原理 | 第23-25页 |
| 2.1.2 微波微等离子体源的等效模型 | 第25页 |
| 2.2 等离子体基本理论 | 第25-30页 |
| 2.2.1 等离子体基本参量 | 第26-27页 |
| 2.2.2 德拜屏蔽效应 | 第27-30页 |
| 2.3 微波等离子体基本理论 | 第30-33页 |
| 2.3.1 气体的微波击穿 | 第30页 |
| 2.3.2 微波击穿的条件 | 第30-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微波微等离子体圆形阵列源的仿真研究 | 第34-56页 |
| 3.1 微波微等离子体圆形阵列源单元结构的研究 | 第34-38页 |
| 3.2 微波微等离子体圆形阵列源的研究 | 第38-42页 |
| 3.3 微波微等离子体圆形阵列源单元数量的影响 | 第42-44页 |
| 3.4 微波微等离子体圆形阵列均匀性的改进方法 | 第44-52页 |
| 3.4.1 覆盖环状聚四氟乙烯薄膜 | 第45-49页 |
| 3.4.2 双馈电结构 | 第49-52页 |
| 3.5 垂直双馈电微波微等离子体圆形阵列源单元数量的影响 | 第52-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 微波微等离子体圆形阵列源的实验研究 | 第56-65页 |
| 4.1 微波微等离子体圆形阵列源的实物制作 | 第56页 |
| 4.2 微波微等离子体圆形阵列源的参数测试 | 第56-59页 |
| 4.3 微波微等离子体圆形阵列源的激励实验 | 第59-64页 |
| 4.3.1 实验系统和工作原理 | 第59-60页 |
| 4.3.2 激励实验 | 第60-62页 |
| 4.3.3 实验结果分析 | 第62-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结和工作展望 | 第65-67页 |
| 5.1 本文总结 | 第65-66页 |
| 5.2 本文的不足和展望 | 第66-67页 |
| 研究生期间发表论文 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72页 |