| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 生物化学分子检测的国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.1.1 生物化学传感器 | 第10页 |
| 1.1.2 敏感膜简介 | 第10-12页 |
| 1.1.3 换能器简介 | 第12-16页 |
| 1.1.4 生物化学传感器的发展趋势 | 第16-19页 |
| 1.2 生物化学分子操控的国内外研究现状 | 第19-22页 |
| 1.2.1 电泳 | 第20页 |
| 1.2.2 介电泳 | 第20页 |
| 1.2.3 光镊 | 第20-21页 |
| 1.2.4 磁镊 | 第21页 |
| 1.2.5 声镊 | 第21-22页 |
| 1.3 薄膜声波谐振器在传感领域的应用 | 第22-23页 |
| 1.4 本论文的意义与主要研究内容 | 第23-26页 |
| 1.4.1 本论文的意义 | 第23-24页 |
| 1.4.2 本论文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 薄膜声波谐振器的基本原理 | 第26-34页 |
| 2.1 FBAR的基本原理 | 第26-29页 |
| 2.2 SMR的基本原理 | 第29-31页 |
| 2.3 LWR的基本原理 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 薄膜声波谐振器在气相环境下的生物化学分子检测 | 第34-66页 |
| 3.1 FBAR的传感原理 | 第34-35页 |
| 3.2 FBAR气体检测方案设计 | 第35-37页 |
| 3.2.1 系统设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 药品和材料 | 第36-37页 |
| 3.3 FBAR界面修饰 | 第37-50页 |
| 3.3.1 分子自组装多层膜沉积技术简介 | 第37-39页 |
| 3.3.2 分子自组装多层膜沉积系统 | 第39-40页 |
| 3.3.3 分子自组装多层膜在AlN表面的沉积 | 第40-43页 |
| 3.3.4 FBAR谐振频率调节 | 第43-48页 |
| 3.3.5 FBAR可靠性增强 | 第48-49页 |
| 3.3.6 FBAR的可再生性 | 第49-50页 |
| 3.4 湿度检测 | 第50-59页 |
| 3.4.1 聚电解质薄膜的形貌优化 | 第51-55页 |
| 3.4.2 灵敏度和线性度 | 第55-56页 |
| 3.4.3 可再生性 | 第56页 |
| 3.4.4 检测极限、噪声和稳定性分析 | 第56-57页 |
| 3.4.5 温度对湿度检测的影响 | 第57-58页 |
| 3.4.6 二氧化碳对湿度检测的影响 | 第58-59页 |
| 3.5 VOC检测 | 第59-61页 |
| 3.6 纳米孔聚电解质薄膜的气体检测 | 第61-63页 |
| 3.7 本章小结 | 第63-66页 |
| 第4章 集成薄膜声波谐振器和FET的多参数复合传感微系统在液相环境下的生物化学分子检测与操控 | 第66-82页 |
| 4.1 薄膜声波谐振器和FET检测特征分析 | 第67页 |
| 4.1.1 薄膜声波谐振器的非静态检测 | 第67页 |
| 4.1.2 FET的静态检测 | 第67页 |
| 4.2 多参数复合传感微系统方案设计 | 第67-71页 |
| 4.2.1 系统设计 | 第67-68页 |
| 4.2.2 芯片设计 | 第68-69页 |
| 4.2.3 电路设计 | 第69-70页 |
| 4.2.4 数据采集和处理 | 第70-71页 |
| 4.2.5 全息显微镜平台搭建 | 第71页 |
| 4.3 多参数复合传感微系统检测聚电解质分子自组装多层膜沉积 | 第71-78页 |
| 4.3.1 一致性分析 | 第72-73页 |
| 4.3.2 互补性分析 | 第73页 |
| 4.3.3 检测效率分析 | 第73-74页 |
| 4.3.4 动力学分析 | 第74-76页 |
| 4.3.5 热力学分析 | 第76-78页 |
| 4.4 多参数复合传感微系统检测抗体抗原相互作用 | 第78-80页 |
| 4.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第5章 薄膜声波谐振器在液相环境下对生物化学分子的操控 | 第82-102页 |
| 5.1 声流简介 | 第82-83页 |
| 5.2 SMR对生物化学分子的操控 | 第83-87页 |
| 5.2.1 系统设计 | 第83-85页 |
| 5.2.2 流体形貌分析 | 第85-86页 |
| 5.2.3 SMR对生物化学分子的聚集效应 | 第86-87页 |
| 5.3 LWR对生物化学分子的操控 | 第87-98页 |
| 5.3.1 二室模型 | 第87-88页 |
| 5.3.2 系统设计 | 第88-90页 |
| 5.3.3 流体形貌分析 | 第90-91页 |
| 5.3.4 LWR对生物化学分子的混合效应 | 第91-92页 |
| 5.3.5 LWR对生物化学分子的聚集效应 | 第92-95页 |
| 5.3.6 免疫检测信号增强 | 第95-98页 |
| 5.4 基于LWR的光电检测系统在增强型免疫学上的应用 | 第98-100页 |
| 5.4.1 基于LWR的光电检测系统 | 第99页 |
| 5.4.2 免疫检测的信号增强 | 第99-100页 |
| 5.5 本章小结 | 第100-102页 |
| 第6章 总结与展望 | 第102-106页 |
| 6.1 论文主要研究内容与成果 | 第102-103页 |
| 6.2 论文创新点 | 第103页 |
| 6.3 后续研究工作展望 | 第103-106页 |
| 参考文献 | 第106-122页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第122-124页 |
| 发表论文 | 第122-123页 |
| 申请专利 | 第123页 |
| 参加科研情况 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
