| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第9-13页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-12页 |
| 1.1.2 研究目的和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 毛细管放电泵浦软X射线激光研究进展 | 第13-17页 |
| 1.3 OFI电子碰撞机制类钯氙 41.8nm激光研究进展 | 第17-20页 |
| 1.4 分析与总结 | 第20-21页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 毛细管放电泵浦类钯氙软 X 射线的理论研究 | 第23-36页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 基于Z箍缩的电子碰撞激发 | 第23-27页 |
| 2.2.1 毛细管放电Z箍缩效应 | 第23-25页 |
| 2.2.2 离子的电子碰撞激发 | 第25-26页 |
| 2.2.3 亚稳能级的单极激发 | 第26-27页 |
| 2.3 类钯氙能级参数和离子丰度的计算 | 第27-35页 |
| 2.3.1 类钯氙能级参数的计算 | 第27-31页 |
| 2.3.2 各价离子丰度的计算 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 毛细管放电泵浦软 X 射线激光实验装置 | 第36-49页 |
| 3.1 引言 | 第36-38页 |
| 3.2 主脉冲系统 | 第38-44页 |
| 3.2.1 Marx发生器 | 第38-39页 |
| 3.2.2 Blumlein传输线 | 第39-41页 |
| 3.2.3 主开关 | 第41-42页 |
| 3.2.4 预脉冲隔离开关 | 第42-44页 |
| 3.3 预脉冲系统 | 第44-46页 |
| 3.3.1 预脉冲电路 | 第44-45页 |
| 3.3.2 延时电路 | 第45-46页 |
| 3.4 探测系统 | 第46-48页 |
| 3.4.1 X射线二极管 | 第46-47页 |
| 3.4.2 罗兰圆谱仪 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 毛细管放电氙等离子体辐射时间特性和光谱 | 第49-71页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 毛细管放电氙气的辐射时间特性 | 第49-55页 |
| 4.3 毛细管放电氙气光谱的测量结果及分析 | 第55-64页 |
| 4.3.1 10nm~20nm光谱测量结果及分析 | 第56-58页 |
| 4.3.2 20nm~30nm光谱测量结果及分析 | 第58-59页 |
| 4.3.3 30nm~40nm光谱测量结果及分析 | 第59-60页 |
| 4.3.4 40nm~50nm光谱测量结果及分析 | 第60-62页 |
| 4.3.5 50nm~60nm光谱测量结果及分析 | 第62-63页 |
| 4.3.6 60nm~70nm光谱测量结果及分析 | 第63-64页 |
| 4.4 各价离子谱线强度随气压和电流的变化 | 第64-68页 |
| 4.4.1 各价离子谱线强度随气压的变化 | 第64-66页 |
| 4.4.2 各价离子谱线强度随电流幅值的变化 | 第66-68页 |
| 4.5 产生类钯氙 41.8nm激光的可能性分析 | 第68-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 致谢 | 第80页 |