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具有两种载流子的高压功率LDMOS的研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第12-30页
    1.1 电力电子技术的介绍第12-14页
    1.2 电力电子器件的介绍第14-18页
    1.3 横向功率MOSFET技术发展介绍第18-27页
    1.4 本章小结第27-28页
    1.5 本文的主要研究工作第28-30页
第二章 OPTVLD MOS器件原理及分析第30-47页
    2.1 OPTVLD理论介绍第30-33页
    2.2 OPTVLD技术及其在LDMOS中的应用第33-41页
        2.2.1 OPTVLD理论的实现方法第33-34页
        2.2.2 功率OPTVLD MOS器件第34-37页
        2.2.3 功率OPTVLD MOS实现工艺第37-41页
    2.3 OPTVLD MOS器件特性及分析第41-46页
        2.3.1 OPTVLD MOS输出特性第41页
        2.3.2 OPTVLD MOS输出曲线上翘机理分析第41-46页
    2.4 本章小结第46-47页
第三章 新型具有两种多数载流子导电的OPTVLD MOS第47-71页
    3.1 两种多数载流子同时导电的原理第47-48页
    3.2 具有两种多数载流子导电的三端OPTVLD MOS技术第48-51页
    3.3 一种新型的具有两种多数载流子导电的三端OPTVLD NMOS第51-66页
        3.3.1 器件结构和原理第53-54页
        3.3.2 器件特性仿真第54-66页
            3.3.2.1 器件稳态特性第55-64页
            3.3.2.2 器件瞬态特性第64-65页
            3.3.2.3 器件电热特性第65-66页
            3.3.2.4 器件工艺可行性讨论第66页
    3.4 非对称型的具有两种多数载流子导电的三端OPTVLD NMOS第66-69页
        3.4.1 器件工作原理第67-68页
        3.4.2 器件特性仿真第68-69页
    3.5 本章小结第69-71页
第四章 新型利用漂移区表面积累层导电的OPTVLD MOS第71-92页
    4.1 利用积累层导电LDMOS的发展介绍第71-75页
    4.2 一种可集成的低压电源技术介绍第75-76页
    4.3 一种具有自驱动分裂栅LDMOS器件第76-91页
        4.3.1 器件结构和原理第76-78页
        4.3.2 器件特性仿真第78-91页
            4.3.2.1 器件稳态特性第79-84页
            4.3.2.2 器件动态特性第84-90页
            4.3.2.3 相关工艺讨论第90-91页
    4.4 本章小结第91-92页
第五章 具有两种多数载流子导电的积累层LDMOS第92-101页
    5.1 器件结构和原理第92-94页
    5.2 器件特性仿真第94-99页
    5.3 器件工艺讨论第99-100页
    5.4 本章小结第100-101页
第六章 全文总结与展望第101-103页
致谢第103-104页
参考文献第104-111页
攻读博士学位期间取得的成果第111-112页

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