| 提要 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第14-18页 |
| 1.2 研究现状 | 第18-24页 |
| 1.2.1 光学成像系统的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.2 自动聚焦算法的研究现状 | 第21-23页 |
| 1.2.3 激光后电离系统的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.3 本领域存在的问题 | 第24页 |
| 1.4 研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 光学成像系统设计 | 第26-44页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 理论模型的建立 | 第26-37页 |
| 2.2.1 总体设计方案 | 第26-31页 |
| 2.2.2 第一级Schwarzschild系统的设计 | 第31-35页 |
| 2.2.3 第二级图像放大系统的设计 | 第35-37页 |
| 2.3 光学成像系统参数仿真与优化 | 第37-39页 |
| 2.4 系统成像质量分析 | 第39-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 光学成像系统集成研究 | 第44-66页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 光学成像系统公差分析 | 第44-50页 |
| 3.2.1 系统公差的分类 | 第44-47页 |
| 3.2.2 系统公差对成像质量影响的研究 | 第47-50页 |
| 3.3 光学成像系统结构设计 | 第50-60页 |
| 3.3.1 光学镜体的加工 | 第50-51页 |
| 3.3.2 Schwarzschild支撑结构的机械设计 | 第51-53页 |
| 3.3.3 光学成像系统外部支撑结构的设计 | 第53-55页 |
| 3.3.4 超高真空样品室及三维样品台结构设计 | 第55-58页 |
| 3.3.5 光学成像系统整体装配与集成 | 第58-60页 |
| 3.4 实验测试与应用 | 第60-64页 |
| 3.4.1 空间分辨率测试 | 第60-61页 |
| 3.4.2 放大率测试及应用测试 | 第61-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 样品图像自动聚焦算法研究 | 第66-90页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 自动聚焦系统设计 | 第67-69页 |
| 4.3 分段式聚焦评价函数 | 第69-77页 |
| 4.3.1 聚焦模糊区的评价函数 | 第70-73页 |
| 4.3.2 聚焦清晰区的评价函数 | 第73-77页 |
| 4.4 分段式调焦控制策略 | 第77-80页 |
| 4.4.1 聚焦模糊区调焦控制策略 | 第77-79页 |
| 4.4.2 聚焦清晰区调焦控制策略 | 第79-80页 |
| 4.5 图像识别及分割算法 | 第80-83页 |
| 4.6 实验与讨论 | 第83-89页 |
| 4.6.1 实验装置及流程 | 第83-85页 |
| 4.6.2 聚焦评价函数对比测试 | 第85-87页 |
| 4.6.3 聚焦准确度测试 | 第87-89页 |
| 4.7 本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 激光后电离技术研究 | 第90-106页 |
| 5.1 引言 | 第90页 |
| 5.2 激光后电离系统研究 | 第90-96页 |
| 5.2.1 飞秒激光后电离光路设计 | 第92-95页 |
| 5.2.2 飞秒激光后电离实验平台的搭建 | 第95-96页 |
| 5.3 飞秒激光对二次中性粒子空间分布的研究 | 第96-104页 |
| 5.3.1 飞秒激光后电离的信号增强 | 第96-101页 |
| 5.3.2 溅射中性粒子空间及速度分布 | 第101-104页 |
| 5.4 本章小结 | 第104-106页 |
| 第六章 全文总结 | 第106-110页 |
| 6.1 主要研究成果及创新点 | 第106-107页 |
| 6.2 存在的问题及下一步工作建议 | 第107-110页 |
| 参考文献 | 第110-122页 |
| 作者攻读博士期间发表的学术论文与科研成果 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124页 |