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电子束激发超衍射限制光学显微镜新型研制

摘要第3-4页
abstract第4-5页
第1章 引言第9-17页
    1.1 选题的背景及其研究意义第9页
    1.2 国内外商业化显微镜对比第9-10页
        1.2.1 电子显微镜第9页
        1.2.2 扫描隧道显微镜( STM)和原子力显微镜( AFM)第9-10页
        1.2.3 共焦和多光子荧光显微镜第10页
    1.3 高光学分辨率显微技术第10-12页
        1.3.1 近场光学显微镜 (SNOM)第10-11页
        1.3.2 受激发射损耗 (STED)荧光显微术第11页
        1.3.3 相干反斯托克斯拉曼散射显微镜 (CARS)第11页
        1.3.4 针尖增强拉曼谱 (TERS)第11-12页
    1.4 课题的研究内容及意义第12-16页
        1.4.1 研究内容第12-14页
        1.4.2 研究目标第14页
        1.4.3 关键技术问题第14页
        1.4.4 研究方案及可行性分析第14-16页
    1.5 本研究工作的特色与创新之处第16-17页
第2章 仪器改造第17-40页
    2.1 实验仪器第17-19页
    2.2 真空系统改造第19-27页
        2.2.1 项目使用的原有部件第19-21页
        2.2.2 对原有部件的改造第21-24页
        2.2.3 对真空管路的升级第24-27页
    2.3 换灯丝困难的解决方案第27-30页
        2.3.1 正置灯丝座设计问题说明第27页
        2.3.2 简易托架第27-29页
        2.3.3 盖盘配螺杆承重设计第29-30页
    2.4 样品台第30-39页
        2.4.1 SiN窗口第30-31页
        2.4.2 下凹式样品台第31-33页
        2.4.3 下凹配合式样品台第33-36页
        2.4.4 三维垂直型可动样品台第36-39页
    2.5 本章小结第39-40页
第3章 信号检测第40-49页
    3.1 真空达标第40-42页
    3.2 倒置后图像第42-43页
        3.2.1 BSE探头位置说明第42页
        3.2.2 倒置显微镜的SE、BSE图像第42-43页
    3.3 荧光信号第43-45页
    3.4 PMT集成第45-48页
    3.5 本章小节第48-49页
第4章 聚苯乙烯小球实验第49-59页
    4.1 聚苯乙烯小球尺寸与制备方法第49-50页
    4.2 聚苯乙烯荧光性探索第50-51页
    4.3 聚苯乙烯图像第51-58页
        4.3.1 初步观测图像第51页
        4.3.2 光阑清换后图像第51-52页
        4.3.3 长时聚焦损害聚苯乙烯小球第52-53页
        4.3.4 工作距离超过28mm时聚苯乙烯的模糊图像第53-54页
        4.3.5 光阑再次清洗后的图像第54-58页
    4.4 本章小结第58-59页
第5章 170nm SiO2图像第59-63页
    5.1 SiO2小球合成与尺寸第59-60页
    5.2 SiO2小球观测结果第60-62页
        5.2.1 170nm SiO2小球分散性较好时成像第60-61页
        5.2.2 170nm SiO2小球团聚时成像第61-62页
    5.3 本章小节第62-63页
第6章 提高SiN薄膜上样品分散性的研究第63-66页
    6.1 实验背景与方法第63页
    6.2 Si N薄膜上样品分散情况的SEM图像第63-64页
    6.3 接触角验证第64-65页
        6.3.1 同一薄膜食人鱼洗液处理前后对比第64页
        6.3.2 同批样品系统对比接触角第64-65页
    6.4 本章小节第65-66页
第7章 ZnO镀膜的Si N荧光薄膜第66-73页
    7.1 实验背景与方法第66-67页
    7.2 镀膜荧光提升第67-72页
        7.2.1 镀膜样品在325nm激光器激发下的PL谱图第67-68页
        7.2.2 扩大范围的PL谱图第68-69页
        7.2.3 CL谱图第69-72页
    7.3 本章小节第72-73页
结论第73-74页
参考文献第74-77页
致谢第77-79页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第79页

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