光学零件边厚差检测技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外对中心偏测量仪的研究状况 | 第8-10页 |
| 1.2.1 国外研究状况 | 第8-10页 |
| 1.2.2 国内研究状况 | 第10页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第10-11页 |
| 1.4 本章小结 | 第11-12页 |
| 2 边厚差检测原理及方案设计 | 第12-19页 |
| 2.1 边厚差的相关概念 | 第12-14页 |
| 2.2 边厚差检测原理 | 第14-16页 |
| 2.2.1 边厚差的形成原理 | 第14-15页 |
| 2.2.2 边厚差的检测原理 | 第15-16页 |
| 2.3 方案的设计 | 第16-18页 |
| 2.3.1 边厚差检测方案的对比 | 第16-17页 |
| 2.3.2 系统总体方案设计 | 第17-18页 |
| 2.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 3 边厚差检测仪的光机系统设计 | 第19-33页 |
| 3.1 聚焦系统的光学设计 | 第19-20页 |
| 3.2 调焦系统的光学设计 | 第20-23页 |
| 3.2.1 正透镜检测方法 | 第21-22页 |
| 3.2.2 负透镜检测方法 | 第22-23页 |
| 3.2.3 平面透镜检测方法 | 第23页 |
| 3.3 旋转台的工作原理 | 第23-25页 |
| 3.3.1 步进电机的选择 | 第23-24页 |
| 3.3.2 步进电机的工作原理 | 第24-25页 |
| 3.4 光斑探测的设计原理 | 第25-29页 |
| 3.4.1 探测器的选择 | 第25-26页 |
| 3.4.2 PSD位置探测器的工作原理 | 第26-29页 |
| 3.5 软件界面的功能 | 第29页 |
| 3.6 光学系统相关元件的选择 | 第29-31页 |
| 3.6.1 光源的选择 | 第29-31页 |
| 3.6.2 光阑的选择 | 第31页 |
| 3.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 4 光学系统的机械结构设计与装调 | 第33-46页 |
| 4.1 光学系统的机械结构总体设计 | 第33-34页 |
| 4.2 光调焦部分的设计 | 第34-36页 |
| 4.3 检测转台部分的设计 | 第36-40页 |
| 4.4 光斑探测部分的设计 | 第40-41页 |
| 4.5 支撑架部分的设计 | 第41-43页 |
| 4.6 箱体盖部分的设计 | 第43-45页 |
| 4.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 实验与分析 | 第46-54页 |
| 5.1 仪器参数的分析 | 第46-47页 |
| 5.2 实验验证 | 第47-50页 |
| 5.2.1 系统稳定性测试 | 第47-49页 |
| 5.2.2 工作距离对测试结果的影响 | 第49-50页 |
| 5.2.3 系统检测边厚差结果的验证 | 第50页 |
| 5.3 误差分析 | 第50-53页 |
| 5.3.1 工作距离误差 | 第50-53页 |
| 5.3.2 步进电机产生的误差 | 第53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
