| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-21页 |
| 1.2.1 电共轭流体泵的基础研究 | 第12-16页 |
| 1.2.2 基于MEMS制造工艺的电共轭流体微型泵 | 第16-21页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 射流发生器MEMS制造工艺的优化 | 第23-32页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 射流发生器的制作缺陷 | 第23-25页 |
| 2.3 提高缝隙电极的附着率 | 第25-27页 |
| 2.3.1 优化UV-LIGA工艺流程 | 第25-27页 |
| 2.3.2 优化缝隙电极形状 | 第27页 |
| 2.4 提高三角柱电极尖端的制作精度 | 第27-31页 |
| 2.4.1 提高铸模质量 | 第27-28页 |
| 2.4.2 提高电铸质量 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 三角柱-缝隙形电极对阵列的尺寸参数优化 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 电共轭流体微型泵的优化结构 | 第32-33页 |
| 3.3 电极对尺寸参数优化实验 | 第33-38页 |
| 3.3.1 实验设计 | 第33-34页 |
| 3.3.2 实验装置 | 第34-35页 |
| 3.3.3 实验结果 | 第35-38页 |
| 3.4 理论分析 | 第38-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 带有旁路微流道的改进型射流发生器的设计 | 第42-50页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 压降问题的产生 | 第42-43页 |
| 4.3 理论分析 | 第43-45页 |
| 4.4 改进型射流发生器 | 第45-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 总结及展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第57页 |
| 1 项目 | 第57页 |
| 2 论文 | 第57页 |
| 3 专利 | 第57页 |