计量用高精度全息柱面位相光栅制作技术研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 目的与意义 | 第9页 |
| 1.2 表面形貌测量技术概述 | 第9-12页 |
| 1.3 光栅测量技术 | 第12-14页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 光栅测量技术 | 第16-28页 |
| 2.1 光栅测量技术的理论基础 | 第16-19页 |
| 2.1.1 几何莫尔技术原理 | 第16-18页 |
| 2.1.2 莫尔干涉术原理 | 第18-19页 |
| 2.2 莫尔信号正交细分原理 | 第19-21页 |
| 2.3 莫尔信号质量评价指标 | 第21-23页 |
| 2.4 柱面光栅干涉测量系统 | 第23-27页 |
| 2.4.1 光栅多普勒频移原理 | 第23-25页 |
| 2.4.2 拍频干涉原理 | 第25页 |
| 2.4.3 柱面光栅传感器的测量原理 | 第25-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 光栅误差分析 | 第28-40页 |
| 3.1 周期误差分析 | 第29-31页 |
| 3.1.1 单周期误差 | 第29页 |
| 3.1.2 累积误差 | 第29-30页 |
| 3.1.3 温度变化对累积误差的影响 | 第30-31页 |
| 3.2 占空比、槽深误差分析 | 第31-39页 |
| 3.2.1 标量衍射理论分析 | 第32-35页 |
| 3.2.2 严格耦合波理论分析 | 第35-37页 |
| 3.2.3 柱面全息位相光栅槽型参数工艺容差 | 第37-39页 |
| 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 高精度全息柱面位相 | 第40-53页 |
| 4.1 光栅的全息记录 | 第40-43页 |
| 4.2 柱面光栅全息记录过程建模 | 第43-45页 |
| 4.3 评价函数的确定 | 第45-46页 |
| 4.4 对称点光源记录分析 | 第46-49页 |
| 4.5 非对称点光源记录分析 | 第49-51页 |
| 本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第53页 |
| 5.2 展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
