飞秒激光加工SiC表面粗糙度控制模型研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1.1 飞秒激光及激光器的发展 | 第9-11页 |
| 1.2 飞秒激光微纳加工的类型 | 第11-18页 |
| 1.2.1 飞秒激光烧蚀微加工 | 第12-16页 |
| 1.2.2 双光子聚合加工 | 第16-18页 |
| 1.3 课题研究内容与意义 | 第18-22页 |
| 1.3.1 课题研究内容 | 第18-20页 |
| 1.3.2 课题研究意义 | 第20-22页 |
| 第二章 飞秒激光烧蚀材料机理研究 | 第22-34页 |
| 2.1 引入双温方程 | 第22-23页 |
| 2.2 改进的双温方程 | 第23-28页 |
| 2.2.1 验证双温方程 | 第23页 |
| 2.2.2 双温方程的改进及其应用 | 第23-27页 |
| 2.2.3 统一的双温方程的提出 | 第27-28页 |
| 2.3 双温方程的建立 | 第28-32页 |
| 2.3.1 飞秒激光脉冲烧蚀机理 | 第28页 |
| 2.3.2 双温方程的建立与简化 | 第28-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 飞秒激光烧蚀基体材料数值模拟研究 | 第34-44页 |
| 3.1 有限差分法的介绍 | 第34-35页 |
| 3.2 差分形式的建立与计算 | 第35-38页 |
| 3.2.1 差分形式的建立 | 第35-36页 |
| 3.2.2 差分方程的计算 | 第36-38页 |
| 3.3 计算结果分析 | 第38-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 飞秒激光加工碳化硅表面的烧蚀机理模拟 | 第44-60页 |
| 4.1 碳化硅烧蚀模型与优化 | 第44-53页 |
| 4.1.1 理论烧蚀模型优化研究 | 第46页 |
| 4.1.2 飞秒激光加工碳化硅模型 | 第46-53页 |
| 4.2 飞秒激光烧蚀模拟计算 | 第53-55页 |
| 4.3 烧蚀模拟结果分析 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 飞秒脉冲激光烧蚀数值控制 | 第60-64页 |
| 5.1 飞秒脉冲激光烧蚀加工系统 | 第60-61页 |
| 5.2 扫描速度对烧蚀的影响 | 第61-63页 |
| 5.2.1 扫描速度对加工形貌的宽度影响 | 第61-62页 |
| 5.2.2 扫描速度对加工形貌的深度影响 | 第62-63页 |
| 5.3 探究其他因素对烧蚀的影响 | 第63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 结论 | 第64页 |
| 6.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文和参加科研情况说明 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
