| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 石英摆片测量研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 石英摆片挠性梁刚度测量 | 第11-13页 |
| 1.2.2 石英摆片几何外形测量 | 第13页 |
| 1.2.3 石英摆片厚度测量 | 第13-14页 |
| 1.3 基于光谱共焦传感器的测量 | 第14-15页 |
| 1.4 课题主要研究工作 | 第15-17页 |
| 第2章 石英摆片几何参数测量系统设计 | 第17-25页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 测量系统的硬件构成 | 第17-21页 |
| 2.2.1 大理石气浮测量平台 | 第19-20页 |
| 2.2.2 PMAC运动控制器 | 第20-21页 |
| 2.2.3 光栅尺编码器 | 第21页 |
| 2.3 光谱共焦位移传感器测量原理 | 第21-22页 |
| 2.4 石英摆片几何参数测量方法 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 最小二乘法求解几何参数 | 第25-41页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 最小二乘法及常用拟合方法 | 第25-28页 |
| 3.2.1 最小二乘法 | 第25-26页 |
| 3.2.2 线性函数和多项式拟合 | 第26-27页 |
| 3.2.3 非线性拟合 | 第27-28页 |
| 3.2.4 牛顿迭代法 | 第28页 |
| 3.3 测量数据拟合模型 | 第28-40页 |
| 3.3.1 石英摆片台阶测量 | 第28-35页 |
| 3.3.2 石英摆片下摆量测量 | 第35-39页 |
| 3.3.3 石英摆片挠性梁厚度测量 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 石英摆片几何参数测量软件设计 | 第41-51页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 软件编译环境 | 第41-43页 |
| 4.2.1 C++程序语言 | 第41-42页 |
| 4.2.2 MFC | 第42页 |
| 4.2.3 多线程技术 | 第42-43页 |
| 4.3 软件系统设计 | 第43-46页 |
| 4.3.1 初始化功能实现 | 第44-45页 |
| 4.3.2 数据采集显示功能实现 | 第45-46页 |
| 4.4 几何参数测量功能实现 | 第46-50页 |
| 4.4.1 台阶高度及高度差测量 | 第47-48页 |
| 4.4.2 下摆量测量 | 第48-49页 |
| 4.4.3 挠性梁厚度测量 | 第49-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 实验与结果分析 | 第51-64页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 测量数据的中值滤波处理 | 第51-52页 |
| 5.3 测量系统稳定性实验 | 第52-56页 |
| 5.3.1 传感器采样频率对测量系统稳定性影响实验 | 第52-54页 |
| 5.3.2 环境温度对测量系统稳定性影响实验 | 第54页 |
| 5.3.3 气浮平台对测量系统稳定性影响实验 | 第54-56页 |
| 5.4 测量系统不确定度分析 | 第56-60页 |
| 5.4.1 台阶高度不确定度分析 | 第56-57页 |
| 5.4.2 石英摆片下摆量测量不确定分析 | 第57-58页 |
| 5.4.3 石英摆片厚度测量不确定度试分析 | 第58-60页 |
| 5.5 石英摆片几何参数测量实验 | 第60-63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73页 |