均光消色散光束整形薄膜器件的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 光束整形薄膜器件的概述 | 第9-14页 |
| 1.2.1 光散射薄膜器件 | 第9-11页 |
| 1.2.2 全息扩散薄膜 | 第11-12页 |
| 1.2.3 微透镜光学薄膜 | 第12-13页 |
| 1.2.4 衍射光学元件 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文研究的意义和内容 | 第14-15页 |
| 2 均光消色散薄膜器件的理论研究 | 第15-24页 |
| 2.1 随机粗糙表面光散射 | 第15-21页 |
| 2.1.1 平均微分散射系数的计算 | 第17-18页 |
| 2.1.2 表面微结构的设计 | 第18-19页 |
| 2.1.3 薄膜器件均光、消色散性质 | 第19-21页 |
| 2.2 光斑形状、散射角度的控制 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 均光消色散矩形散斑薄膜器件的制作 | 第24-37页 |
| 3.1 光路的搭建及实验原理分析 | 第24-27页 |
| 3.1.1 随机数组的生成 | 第25-27页 |
| 3.2 匀胶、显影 | 第27-30页 |
| 3.2.1 光刻胶显影响应测试 | 第29-30页 |
| 3.3 薄膜器件的制作参数及实验结果 | 第30-36页 |
| 3.3.1 薄膜器件透过率的测定 | 第33-34页 |
| 3.3.2 表面结构参数的测量 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 均光消色散圆形散斑薄膜器件的制作 | 第37-44页 |
| 4.1 实验原理 | 第37-40页 |
| 4.1.1 薄膜器件的制作参数及实验结果 | 第38-40页 |
| 4.2 薄膜器件的电铸工艺 | 第40-43页 |
| 4.2.1 拼版模压、UV转印技术 | 第42-43页 |
| 4.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 总结与展望 | 第44-46页 |
| 5.1 总结 | 第44页 |
| 5.2 展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-51页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
