| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 叠层压电陶瓷 | 第13-21页 |
| 1.2.1 压电原理 | 第13-15页 |
| 1.2.2 钙钛矿型压电晶体内部结构 | 第15-17页 |
| 1.2.3 PZT基压电陶瓷概述 | 第17-19页 |
| 1.2.4 叠层用PZT基压电陶瓷研究进展 | 第19-21页 |
| 1.3 叠层陶瓷制备工艺 | 第21-23页 |
| 1.3.1 叠层结构 | 第21-22页 |
| 1.3.2 叠层及热压工艺 | 第22-23页 |
| 1.4 叠层压电陶瓷应用 | 第23-26页 |
| 1.4.1 叠层陶瓷电容器 | 第23-24页 |
| 1.4.2 叠层压电变压器 | 第24-25页 |
| 1.4.3 叠层压电作动器 | 第25-26页 |
| 1.5 本课题研究的意义、内容及工作安排 | 第26-28页 |
| 第二章 叠层陶瓷材料选取、制备及性能表征 | 第28-41页 |
| 2.1 烧结技术与材料体系选取 | 第28-30页 |
| 2.1.1 LTCC技术 | 第28-30页 |
| 2.1.2 0.90PZT-0.05PMS-0.05PZN四元压电体系 | 第30页 |
| 2.2 0.90PZT-0.05PMS-0.05PZN制料 | 第30-35页 |
| 2.2.1 0.90PZT-0.05PMS-0.05PZN粉体制备 | 第31页 |
| 2.2.2 球磨混料 | 第31-32页 |
| 2.2.3 预烧 | 第32页 |
| 2.2.4 二次球磨 | 第32页 |
| 2.2.5 排胶和烧结 | 第32-34页 |
| 2.2.6 披电极和极化 | 第34-35页 |
| 2.3 压电陶瓷性能测试 | 第35-39页 |
| 2.3.1 X射线衍射物相分析 | 第35-36页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜微观形貌观测 | 第36页 |
| 2.3.3 介电性能测试 | 第36-38页 |
| 2.3.4 压电应变常数、机电耦合系数、机械品质因素测量 | 第38-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 PZT-PMS-PZN叠层陶瓷制备及性能表征 | 第41-56页 |
| 3.1 引言 | 第41-42页 |
| 3.2 流延及其成型研究 | 第42-46页 |
| 3.2.1 流延浆料制备 | 第42-44页 |
| 3.2.2 流延成型 | 第44-46页 |
| 3.2.3 流延生片分析 | 第46页 |
| 3.3 叠层及烧结研究 | 第46-51页 |
| 3.3.1 内电极丝网印刷 | 第46-48页 |
| 3.3.2 叠层、热压与埋烧工艺 | 第48-51页 |
| 3.4 叠层陶瓷性能分析 | 第51-55页 |
| 3.4.1 叠层陶瓷XRD相结构分析 | 第51-52页 |
| 3.4.2 叠层陶瓷微观形貌分析 | 第52-53页 |
| 3.4.3 压电性能测试分析 | 第53-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 叠层内部界面优化 | 第56-71页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 基本实验过程 | 第56-57页 |
| 4.3 不同掺杂量对内电极电学性能的影响 | 第57-59页 |
| 4.4 不同掺杂量对内电极显微结构的影响 | 第59-60页 |
| 4.5 不同掺杂量对叠层陶瓷力学性能影响 | 第60-63页 |
| 4.6 不同掺杂量对叠层陶瓷压电性能影响 | 第63-65页 |
| 4.6.1 纵向压电常数d_(33)和静态电容C_0 | 第63-64页 |
| 4.6.2 谐振频率 | 第64-65页 |
| 4.7 疲劳特性测试 | 第65-69页 |
| 4.7.1 疲劳测试平台搭建 | 第66-67页 |
| 4.7.2 疲劳测试结果分析 | 第67-69页 |
| 4.8 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 本论文的工作总结 | 第71-72页 |
| 5.2 下一步的工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第80页 |
