| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 注释表 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-29页 |
| 1.1 表面织构技术 | 第14-15页 |
| 1.2 微坑阵列的应用 | 第15-17页 |
| 1.2.1 微坑阵列在摩擦磨损方面的应用 | 第15-17页 |
| 1.2.2 微坑阵列在热能交换方面的应用 | 第17页 |
| 1.3 微坑阵列的加工技术 | 第17-26页 |
| 1.3.1 微坑阵列的机械振动加工技术 | 第17-18页 |
| 1.3.2 微坑阵列的磨料气射流加工技术 | 第18-19页 |
| 1.3.3 微坑阵列的激光加工技术 | 第19-20页 |
| 1.3.4 微坑阵列的电火花加工技术 | 第20页 |
| 1.3.5 微坑阵列的电解加工技术 | 第20-26页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第26-29页 |
| 1.4.1 课题来源及研究目的 | 第26-27页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第27-29页 |
| 第二章 柔性模板制作工艺研究 | 第29-42页 |
| 2.1 柔性模板制作流程 | 第29-31页 |
| 2.2 不锈钢微群柱模具制备 | 第31-33页 |
| 2.3 光刻胶微群柱模具制备 | 第33-39页 |
| 2.3.1 光刻胶的选择 | 第33-36页 |
| 2.3.2 SU-82005光刻工艺 | 第36-37页 |
| 2.3.3 SU-8干膜光刻胶光刻工艺 | 第37-39页 |
| 2.4 真空辅助法制作PDMS模板 | 第39-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 微坑阵列的光刻电解加工原理及加工精度仿真分析 | 第42-49页 |
| 3.1 光刻电解加工原理 | 第42页 |
| 3.2 电解加工的电极反应 | 第42-45页 |
| 3.3 微坑阵列的大面积电解加工精度 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 基于柔性模板的微坑阵列电解加工研究 | 第49-75页 |
| 4.1 微坑电解加工系统 | 第49-52页 |
| 4.1.1 电解加工机床与电解液循环系统 | 第49页 |
| 4.1.2 电源系统 | 第49页 |
| 4.1.3 电流数据采集系统 | 第49-50页 |
| 4.1.4 微坑阵列的检测仪器 | 第50-51页 |
| 4.1.5 微坑阵列的高压低流速电解加工试验系统 | 第51-52页 |
| 4.2 加工电压对微坑阵列尺寸影响的试验探究 | 第52-55页 |
| 4.3 方形微坑阵列的高压低流速电解加工实验 | 第55-64页 |
| 4.3.1 微坑阵列的电解加工试验参数 | 第55-56页 |
| 4.3.2 电压对微坑形貌的影响 | 第56-58页 |
| 4.3.3 有效加工时间对微坑形貌的影响 | 第58页 |
| 4.3.4 占空比对微坑形貌的影响 | 第58-60页 |
| 4.3.5 微坑阵列加工电流效率 | 第60-62页 |
| 4.3.6 微坑阵列的电解加工精度 | 第62-64页 |
| 4.4 高压静液电解加工试验 | 第64-73页 |
| 4.4.1 高压静液电解加工原理 | 第64-67页 |
| 4.4.2 电解液压强对PDMS疏水性的影响 | 第67-69页 |
| 4.4.3 高压静液电解加工的电流变化 | 第69-70页 |
| 4.4.4 高压静液电解加工的尺寸分布 | 第70-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 微坑阵列的大面积加工及应用 | 第75-81页 |
| 5.1 有孔工件表面的微坑阵列加工 | 第75-77页 |
| 5.2 圆柱形表面微坑阵列加工 | 第77-80页 |
| 5.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 论文研究内容总结 | 第81-82页 |
| 6.2 未来研究展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 在学期间发表学术论文和研究成果 | 第91-92页 |