| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 缩略词 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 化学机械抛光中抛光液的作用 | 第15-17页 |
| 1.2.1 抛光液的构成以及作用 | 第15页 |
| 1.2.2 抛光液研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 抛光液流动特性 | 第17-21页 |
| 1.3.1 抛光液液膜以及动压特性 | 第17-19页 |
| 1.3.2 抛光垫沟槽设计与流动特性 | 第19-21页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 无沟槽抛光垫表面抛光液流场研究 | 第22-37页 |
| 2.1 平整抛光垫表面流动状态方程推导 | 第22-26页 |
| 2.1.1 流体动力学基本方程 | 第22-23页 |
| 2.1.2 旋转坐标系下流动方程 | 第23-25页 |
| 2.1.3 旋转坐标系下连续性方程 | 第25-26页 |
| 2.2 平整抛光垫表面流动有限元仿真计算 | 第26-31页 |
| 2.2.1 流体动力学的有限元方法 | 第26-28页 |
| 2.2.2 抛光运动过程的流场建模 | 第28-29页 |
| 2.2.3 仿真结果分析 | 第29-31页 |
| 2.3 平整抛光垫表面流动实验验证 | 第31-36页 |
| 2.3.1 实验原理与设置 | 第31-33页 |
| 2.3.2 实验结果与理论验证 | 第33-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 开槽抛光垫表面抛光液流场研究 | 第37-54页 |
| 3.1 开槽抛光垫表面流动状态方程推导 | 第37-40页 |
| 3.1.1 抛光液流动的沿程能量损失 | 第37-38页 |
| 3.1.2 抛光液径向流速分布规律 | 第38-39页 |
| 3.1.3 抛光液流动的优化准则 | 第39-40页 |
| 3.2 开槽抛光垫表面流动有限元仿真计算 | 第40-46页 |
| 3.2.1 三种不同形状沟槽网格抛光垫的设计与建模仿真 | 第40-42页 |
| 3.2.2 有沟槽抛光垫表面流动状态仿真结果 | 第42-43页 |
| 3.2.3 不同因素对抛光液流动特性影响分析 | 第43-46页 |
| 3.3 开槽抛光垫表面流动实验验证 | 第46-53页 |
| 3.3.1 两种不同沟槽网格形状抛光垫表面流动状态验证与对比 | 第46-52页 |
| 3.3.2 沟槽型抛光垫与平整抛光垫的流动状态对比 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 抛光垫沟槽优化设计 | 第54-71页 |
| 4.1 沟槽优化方法 | 第54-61页 |
| 4.1.1 深宽比的优化计算 | 第54-57页 |
| 4.1.2 绝对尺寸的优化计算 | 第57-60页 |
| 4.1.3 沟槽走向的优化计算 | 第60-61页 |
| 4.2 优化沟槽抛光垫表面流动有限元仿真计算 | 第61-66页 |
| 4.2.1 优化沟槽抛光垫的参数化建模 | 第61-63页 |
| 4.2.2 仿真结果以及优化效果分析 | 第63-66页 |
| 4.3 优化沟槽抛光垫表面流动实验验证 | 第66-70页 |
| 4.3.1 沟槽内流动状态验证 | 第66-69页 |
| 4.3.2 沟槽实际优化效果的分析 | 第69-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 总结 | 第71-72页 |
| 5.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78页 |
