新型Y分支波导结构及其相关功能元件研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·集成光路概述 | 第9-10页 |
| ·Y 分支波导研究现状 | 第10-15页 |
| ·对称型Y 分支 | 第10-14页 |
| ·非对称型Y 分支 | 第14-15页 |
| ·1×N 型功率分束器研究现状 | 第15-16页 |
| ·光波导聚合物材料 | 第16-17页 |
| ·本论文的主要研究内容和章节安排 | 第17-18页 |
| 第二章 光波导基本理论 | 第18-28页 |
| ·平板波导基本理论 | 第18-21页 |
| ·反射与折射 | 第18-19页 |
| ·平板波导的模式 | 第19-20页 |
| ·平板波导的导模 | 第20-21页 |
| ·有效折射率法 | 第21-24页 |
| ·BPM 及模拟软件 | 第24-27页 |
| ·BPM 算法的基本理论 | 第24-26页 |
| ·BeamPROP 软件介绍 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 Y 分支波导设计及模拟 | 第28-48页 |
| ·聚合物脊形波导单模条件计算 | 第28-33页 |
| ·对称型Y 分支设计及模拟 | 第33-39页 |
| ·对称型Y 分支设计 | 第33-35页 |
| ·对称型Y 分支模拟 | 第35-39页 |
| ·非对称Y 分支设计及模拟 | 第39-47页 |
| ·非对称Y 分支设计 | 第39-40页 |
| ·非对称Y 分支模拟 | 第40-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 Y 分支功能元件模拟分析 | 第48-55页 |
| ·对称1×N 型分束器设计与模拟 | 第48-50页 |
| ·对称1×N 型分束器设计 | 第48-49页 |
| ·对称1×N 型分束器模拟 | 第49-50页 |
| ·非对称1×N 型分束器设计与模拟 | 第50-53页 |
| ·非对称1×N 型分束器设计 | 第50-52页 |
| ·非对称1×N 型分束器模拟 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 光波导制作及测试 | 第55-64页 |
| ·光刻 | 第55-57页 |
| ·光刻材料 | 第55-56页 |
| ·工艺流程 | 第56-57页 |
| ·波导工艺制作流程 | 第57-58页 |
| ·实验制作与测试 | 第58-63页 |
| ·光波导制作 | 第58-60页 |
| ·光波导测试 | 第60-63页 |
| ·测试系统介绍 | 第61页 |
| ·光波导测试及分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结 | 第64-66页 |
| ·工作总结 | 第64页 |
| ·对今后工作的建议 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻硕期间发表的论文 | 第70-71页 |