利用离子束注入技术人工制备块状金刚石氮—空穴色心

摘要	第5-6页
abstract	第6页
第一章 NV色心的基本性质	第8-18页
1.1 NV色心的原子组成	第8-9页
1.2 NV色心的能级结构	第9-11页
1.3 NV色心的获得	第11-18页
第二章 离子束注入技术	第18-26页
2.1 离子束注入技术简介	第18-19页
2.2 对于金刚石材料的离子束注入	第19-26页
2.2.1 离子束注入的参数选择	第19-21页
2.2.2 为了提高NV生成效率所做的改进	第21-26页
第三章 人工NV色心的制备及其研究	第26-40页
3.1 利用掩膜进行阵列注入的实验方案	第27-34页
3.2 无掩膜情况下直接对金刚石进行离子束注入	第34-40页
第四章 微纳米加工技术	第40-64页
4.1 等离子体化学气相沉积法	第40-43页
4.1.1 等离子化学气相沉积法的原理	第41-42页
4.1.2 等离子体化学气相沉积法的优缺点	第42-43页
4.2 光学曝光技术	第43-53页
4.2.1 光学曝光的方式	第43-44页
4.2.2 光学曝光的工艺过程	第44-46页
4.2.3 光刻胶的特性	第46-48页
4.2.4 光刻胶的一般特性	第48-53页
4.3 刻蚀法图形转移技术之干法刻蚀	第53-64页
4.3.1 干法刻蚀之一：反应离子刻蚀(RIE)	第53-56页
4.3.2 干法刻蚀之二：离子溅射刻蚀	第56-58页
4.3.3 干法刻蚀之三：反应离子深刻蚀	第58-64页
参考文献	第64-68页
致谢	第68-70页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果	第70页