| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 磁性材料简介 | 第12-13页 |
| 1.2 永磁材料的概述 | 第13-19页 |
| 1.2.1 永磁材料的简介 | 第13页 |
| 1.2.2 永磁材料基本性能参数 | 第13-16页 |
| 1.2.2.1 饱和磁化强度M_s和剩余磁化强度M_r | 第14页 |
| 1.2.2.2 矫顽力 | 第14页 |
| 1.2.2.3 最大磁能积(BH)_(max) | 第14-15页 |
| 1.2.2.4 方形度 | 第15页 |
| 1.2.2.5 矩形比 | 第15页 |
| 1.2.2.6 永磁材料的热稳定性 | 第15-16页 |
| 1.2.2.7 永磁材料的化学稳定性 | 第16页 |
| 1.2.3 永磁材料的发展过程 | 第16-19页 |
| 1.3 交换耦合永磁材料的原理及理论模型 | 第19-23页 |
| 1.3.1 交换耦合永磁材料的原理 | 第19页 |
| 1.3.2 交换耦合的特点 | 第19-20页 |
| 1.3.3 纳米晶复合永磁材料的理论模型 | 第20-22页 |
| 1.2.3.1 一维简化理论模型 | 第20-21页 |
| 1.2.3.2 二维和三维各向同性模型 | 第21-22页 |
| 1.2.3.3 各向异性纳米复合永磁材料交换耦合的三维模型 | 第22页 |
| 1.3.4 Exchange-coupling软磁临界反转厚度 | 第22-23页 |
| 1.4 纳米双相复合交换耦合永磁材料的研究现状 | 第23-26页 |
| 1.4.1 块体纳米双相复合材料的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.4.2 纳米双相复合薄膜材料的研究现状 | 第24页 |
| 1.4.3 L1_0-FePt的晶体结构和磁学性质 | 第24-25页 |
| 1.4.4 纳米双相复合L1_0-FePt/Fe薄膜的研究现状 | 第25-26页 |
| 1.5 本课题研究目的与研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5.1 研究动机、目的及意义 | 第26-27页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 实验方法 | 第28-38页 |
| 2.1 基片的清洗 | 第28页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第28-30页 |
| 2.2.1 磁控溅射的原理 | 第28-29页 |
| 2.2.2 本文制备薄膜所使用的设备 | 第29-30页 |
| 2.3 热处理工艺 | 第30页 |
| 2.4 薄膜的性能表征 | 第30-38页 |
| 2.4.1 薄膜厚度的测量 | 第30-31页 |
| 2.4.2 表面形貌的观察 | 第31页 |
| 2.4.3 薄膜结构的表征 | 第31页 |
| 2.4.4 成分的表征 | 第31页 |
| 2.4.5 磁性测量 | 第31-38页 |
| 2.4.5.1 振动样品磁强计(VSM) | 第31-33页 |
| 2.4.5.2 最大磁能积的确定 | 第33页 |
| 2.4.5.3 晶粒间交换耦合作用的验证 | 第33-38页 |
| 第3章 FePt单层薄膜的研究 | 第38-52页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 实验过程 | 第38-39页 |
| 3.3 热处理对薄膜晶体结构和磁性能的影响 | 第39-42页 |
| 3.4 溅射气压对FePt薄膜微观组织和磁性能的影响 | 第42-46页 |
| 3.4.1 溅射气压对溅射态FePt薄膜微观组织的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.2 溅射气压对FePt薄膜磁性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 薄膜厚度对FePt薄膜磁性能和晶体结构的影响 | 第46-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 FePt/Fe复合双层膜的研究 | 第52-60页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 实验过程及工艺 | 第52页 |
| 4.3 Fe层厚度对FePt/Fe复合双层膜磁性能的影响 | 第52-58页 |
| 4.4 FePt层厚度对FePt/Fe复合双层膜磁性能的影响 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 FePt/Fe复合多层膜的研究 | 第60-74页 |
| 5.1 前言 | 第60页 |
| 5.2 实验过程及工艺 | 第60-61页 |
| 5.3 FePt(20nm)/Fe多层膜的研究 | 第61-65页 |
| 5.3.1 层数对FePt(20nm)/Fe(2nm)多层膜磁性能的影响 | 第61-63页 |
| 5.3.2 层数对FePt(20nm)/Fe(4nm)多层膜磁性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.4 Fe层厚度对FePt/Fe多层膜的影响 | 第65-67页 |
| 5.5 FePt/Fe多层膜的膜层厚度的进一步优化 | 第67-70页 |
| 5.6 热处理工艺对FePt/Fe多层膜磁性能的影响 | 第70-73页 |
| 5.6.1 热处理温度FePt/Fe多层膜磁性能的影响 | 第70-71页 |
| 5.6.2 热处理时间FePt/Fe多层膜磁性能的影响 | 第71-73页 |
| 5.7 本章小结 | 第73-74页 |
| 第6章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 结论 | 第74-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
